[发明专利]一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法有效
| 申请号： | 201310336033.9 | 申请日： | 2012-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN103472579A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 周亮;陈巧;谢会开 | 申请（专利权）人： | 无锡微奥科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 楼高潮 |
| 地址： | 214028 江苏省无锡市新区菱*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 倾斜 微机 系统 制作方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法，其特征在于：所述驱动臂为数种热膨胀系数不同的材料叠放而成，在高于室温的工艺制作温度下成平坦结构，冷却到室温释放后驱动臂向热膨胀率高的一方收缩。
2.根据权利要求1所述的一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法：其特征在于：通过改变热膨胀系数不同的材料叠放次序，使驱动臂在室温下向上或向下弯曲。
3.根据权利要求1所述的一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法：其特征在于：通过设置不同长度的驱动臂，使连接在驱动臂上的镜体在室温下自倾斜。
4.根据权利要求1所述的一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法：其特征在于：使用体硅工艺，使倾斜结构的角度可以很大。
5.根据权利要求1所述的一种自倾斜微机电系统微镜的制作方法，特征在于：驱动臂的材料高热膨胀系数的材料为各种金属：铝、铜、镍、铬、金，聚合物：SU-8、Polyimide、PMMA、PDMS，以及碳纤维；热膨胀系数低的材料为各种介电质材料：二氧化硅，金属氧化物，氮化硅，钨。
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