[发明专利]具有导热装置的坩埚

权利要求书

1.一种具有导热装置的坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体（2）及设置于坩埚本体（2）内的导热装置（4），所述导热装置（4）呈树状，其包括散热主干（42）及设于散热主干（42）上的数层散热枝干（44），每层散热枝干（44）包括数个枝干单元（442），所述枝干单元（442）由所述散热主干（42）的外表面向外延伸设置。

2.如权利要求1所述的具有导热装置的坩埚，其特征在于，所述散热主干（42）为一根圆柱状散热杆，其与所述坩埚本体（2）的主轴大体平行。

3.如权利要求2所述的具有导热装置的坩埚，其特征在于，所述散热枝干（44）垂直于所述散热主干（42）。

4.如权利要求2所述的具有导热装置的坩埚，其特征在于，所述散热枝干（44’’）由所述散热主干（42）的外表面倾斜向上延伸设置。

5.如权利要求2所述的具有导热装置的坩埚，其特征在于，所述散热枝干（44’’’）由所述散热主干（42）的外表面倾斜向下延伸设置。

6.如权利要求1所述的具有导热装置的坩埚，其特征在于，所述散热主干（42’）包括至少两根圆柱状散热杆，该些散热杆通过数个连接杆连接在一起，并与所述坩埚本体（2）的主轴大体平行。

7.如权利要求6所述的具有导热装置的坩埚，其特征在于，所述枝干单元（442）上还设有数个枝干分枝（444），所述枝干分枝（444）由所述枝干单元（442）的外表面向外延伸设置。

8.如权利要求7所述的具有导热装置的坩埚，其特征在于，所述枝干单元（442）与所述枝干分枝（444）由金属材料一体成型制成，或分别由金属材料制成，再通过焊接方式连接在一起。

9.如权利要求1所述的具有导热装置的坩埚，其特征在于，所述导热装置（4）由金属材料一体成型制成。

10.如权利要求1所述的具有导热装置的坩埚，其特征在于，所述散热主干（42）与散热枝干（44）分别由金属材料制成，并通过焊接方式连接在一起。