[发明专利]检测装置、检测系统和检测装置的制造方法无效

专利信息
申请号: 201310335357.0 申请日: 2013-08-05
公开(公告)号: CN103579271A 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: 藤吉健太郎;望月千织;渡边实;横山启吾;大藤将人;川锅润;和山弘 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 杨小明
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 检测 装置 系统 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种检测装置,包括:

多个信号布线,所述多个信号布线被布置于基板上;

多个像素,所述多个像素被布置于所述基板上,

其中,所述多个像素中的每一个包含布置于所述基板上的开关元件和布置于所述开关元件上的转换元件,

其中,所述转换元件包含布置于所述开关元件上并与所述开关元件电连接的第一电极和布置于多个第一电极之上的半导体层,并且

其中,多个所述开关元件与所述多个信号布线电连接;以及

恒定电势布线,所述恒定电势布线被布置于所述基板上并被供给恒定电势,

其中,在所述多个像素之中的一部分像素中,第一电极与恒定电势布线电连接。

2.根据权利要求1所述的检测装置,

其中,所述一部分像素的开关元件与所述多个信号布线之中的与所述一部分像素的开关元件电连接的信号布线之间的连接被切断。

3.根据权利要求2所述的检测装置,还包括用于电连接所述一部分像素的转换元件的第一电极与恒定电势布线的多个连接部件,

其中,所述多个连接部件被布置为使得其至少一部分经由绝缘层重叠于恒定电势布线上,并且,所述多个连接部件之中的预先确定的连接部件与多个第一电极之中的预先确定的第一电极电连接,并且,

其中,所述多个连接部件在所述多个连接部件之中的位于所述一部分像素的转换元件的第一电极下面的连接部件与恒定电势布线重叠的位置中包含连接部件通过激光照射焊接到恒定电势布线的区域,并且,所述连接部件经由该区域与恒定电势布线电连接。

4.根据权利要求2所述的检测装置,

其中,所述多个第一电极中的每一个在多个连接部件之中的预先确定的连接部件上形成,并与预先确定的连接部件电连接,

其中,所述检测装置还包含被设置为露出所述多个连接部件之中的位于所述一部分像素的转换元件的第一电极下面的连接部件和恒定电势布线的开口,并且,

其中,用于连接所述连接部件与恒定电势布线的导电层被布置于所述开口中。

5.根据权利要求2所述的检测装置,还包含:

第一层间绝缘层,所述第一层间绝缘层被布置于所述多个信号布线和所述多个开关元件上;和

第二层间绝缘层,所述第二层间绝缘层被布置于所述第一层间绝缘层上,

其中,与恒定电势布线连接的多个连接部件和恒定电势布线被布置于第一层间绝缘层和第二层间绝缘层之间,

其中,多个所述第一电极被布置于所述第二层间绝缘层上,并且,

其中,在所述一部分像素中,在位于连接部件上的区域中设置通过激光照射蒸发第二层间绝缘层的区域,并且,所述连接部件经由该区域与第一电极电连接。

6.根据权利要求5所述的检测装置,

其中,所述开关元件是包含栅电极、源极、漏极和沟道的薄膜晶体管,其中,所述源极和所述漏极中的一个与第一电极电连接,并且,所述源极和所述漏极中的另一个与信号布线连接,并且,

其中,所述多个连接部件之中的一个连接部件形成在与在所述一个连接部件上形成的第一电极电连接的晶体管的沟道上。

7.一种检测系统,包括:

根据权利要求1的检测装置;

信号处理单元,所述信号处理单元被配置为处理从所述检测装置输出的信号;

显示单元,所述显示单元被配置为显示从所述信号处理单元输出的信号;和

传送处理单元,所述传送处理单元被配置为传送从所述信号处理单元输出的信号。

8.一种检测装置的制造方法,包括:

执行第一步骤:在基板上形成多个信号布线、与所述多个信号布线电连接的多个开关元件、以及被供给恒定电势的恒定电势布线;

执行第二步骤:形成多个转换元件并且形成多个像素,所述多个转换元件包含不与恒定电势布线电连接但与多个开关元件电连接且形成在所述多个开关元件上的多个第一电极和形成在所述多个第一电极上的半导体层,所述多个像素各包含所述多个开关元件之中的一个开关元件和所述多个转换元件之中的一个转换元件;以及

执行第三步骤:电连接所述多个像素之中的一部分像素的转换元件的第一电极与恒定电势布线。

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