[发明专利]基于介电泳效应的定偏心式研磨/抛光设备无效
| 申请号： | 201310332914.3 | 申请日： | 2013-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN103433832A | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 邓乾发;毛美姣;吕冰海;赵天晨;袁巨龙;郭伟刚;郁炜;厉淦;周芬芬 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00 |
| 代理公司： | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人： | 王利强 |
| 地址： | 310014 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 电泳 效应 偏心 研磨 抛光 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于介电泳效应的定偏心式研磨/抛光设备，包括机架、安装在机架上的抛光盘、工件夹具和抛光液输入器，所述工件夹具置于所述的抛光盘上方，待抛光的工件装夹在所述的工件夹具的底面，所述抛光盘安装在驱动主轴上，所述驱动主轴与驱动电机连接，其特征在于：所述的抛光盘上安装第一电极板，所述第一电极板与交流电源的第一引出端连接，所述工件夹具上安装第二电极板，所述第二电极板与所述交流电源的第二引出端连接；所述的交流电源的电流输入端与用于控制所述的交流电源的电压与频率的调频调压控制器连接。
2.如权利要求1所述的基于介电泳效应的定偏心式研磨/抛光设备，其特征在于：所述的抛光盘内安装有第一绝缘板，所述第一电极板安装在所述第一绝缘板上；所述的工件夹具内安装有第二绝缘板，所述第二电极板安装在所述第二绝缘板上。
3.如权利要求1所述的基于介电泳效应的定偏心式研磨/抛光设备，其特征在于：所述的抛光盘为绝缘材料抛光盘，所述的工件夹具为绝缘材料夹具。
4.如权利要求1～3之一所述的基于介电泳效应的定偏心研磨/抛光设备，其特征在于：所述抛光液输入器位于所述抛光盘的中央上方。
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