[发明专利]光纤、光纤装置及激光加工装置

说明书

技术领域

本发明是关于一种光纤，尤其是用以传送来自激光光源的激光的光纤，及包含该光纤的光纤装置。

又，本发明还关于一种具有以上的光纤或光纤装置，且对工件进行加工的激光加工装置。

背景技术

例如在制造薄膜太阳电池的情形时，首先，在玻璃等基板上形成由钼(Mo)膜所构成的下部电极膜，其后，将下部电极膜分割成短条状。其次，在下部电极膜上形成包含CIGS膜等黄铜矿结构化合物半导体膜的化合物半导体膜。其次，进而将该等半导体膜的一部分呈条纹状地去除并分割成短条状，以覆盖其等的方式形成上部电极膜。最后，将上部电极膜的一部分呈条纹状地剥离并分割成短条状。

如上所述，在制造薄膜太阳电池时，必须将形成于基板上的金属膜绝缘分离，为了形成该绝缘用的槽，而使用激光加工装置。

例如，在专利文献1中，对工件照射矩形状的激光，并且将该激光于固定的方向上以既定的覆盖率进行扫描，借由进行刻划加工而形成绝缘用的槽。

又，在专利文献2中，揭示有于如上所述的激光加工时用以获得较高的加工效率的装置。在该装置中，揭示有如下内容：为了使对工件照射的激光的强度分布均匀，而使光纤的芯的剖面形状为将圆形的一部分切缺而成的D型形状、长方形形状或星型形状。

在专利文献1的装置中，由于对工件照射矩形状的激光，故而与照射圆形的激光的情形相比，可高效地加工槽，又，可形成短路等可能性较低的绝缘用的槽。

然而，在专利文献1的装置中，为了使激光的强度分布均匀，而必须使用多模的激光，缺乏通用性。

又，在专利文献2的装置中，必须使光纤的芯的剖面形状为特殊形状。

[先前技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本特开昭62-168688号公报

[专利文献2]日本特开2006-278525号公报

发明内容

本发明的目的在于以简单的构成获得强度分布均匀的矩形状的激光。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。本发明提供一种光纤，用以传送来自激光光源的激光，且具有：第1纤维，具有圆形芯；及第2纤维，具有矩形芯且连接于第1纤维的端面。

其中，借由利用熔接等将圆形芯的光纤与矩形芯的光纤连接，而可获得矩形状且均匀的强度分布的激光。此种光纤即便在使用单模的激光的情形时，自矩形芯的纤维出射的激光的强度分布亦均匀。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的光纤，其中第1纤维被入射来自激光光源的激光，第2纤维传送自第1纤维入射的激光。

此处，与上述同样地，可获得强度分布均匀的矩形状的激光，借由使用该光纤构成激光加工装置，而可提高加工效率，又，可形成精度较高的槽。

前述的光纤，其中第1纤维与第2纤维的彼此的端面熔接。

本发明的目的及解决其技术问题还采用以下技术方案来实现的。本发明提供一种光纤装置，用以传送来自激光光源的激光，且具备：第1纤维，具有圆形芯；多个第2纤维，具有矩形芯；及纤维分离器。纤维分离器在输入侧连接有第1纤维，在输出侧连接有多个第2纤维。

此处，与上述同样地，可在各个第2纤维的输出侧获得强度分布均匀的矩形状的激光。再者，纤维分离器具有圆形芯的纤维。借由使用纤维分离器，而可自1个激光获得多个矩形状的激光。因此，借由将该光纤装置使用于激光加工装置中，而可提高加工效率。

本发明的目的及解决其技术问题又采用以下技术方案来实现的。本发明提供一种激光加工装置，照射激光并对工件进行加工，且具备：平台，载置工件；激光头，输出激光；第1聚光透镜，将激光聚光；第1纤维，具有圆形芯，且被入射借由第1聚光透镜而聚光的激光；第2纤维，具有矩形芯，且连接于第1纤维的端面；第2聚光透镜，将自第2纤维输出的矩形形状的激光对平台上的工件聚光；及移动机构，使工件对激光相对移动。

在该装置中，自激光头输出的激光经第1聚光透镜而聚光而导入至圆形芯的第1纤维，进而导入至矩形芯的第2纤维。而且，自第2纤维输出矩形状的激光。该矩形状的激光经由第2聚光透镜而照射至平台上的工件。此处，可将强度分布均匀的矩形状的激光照射至工件，而可提高加工效率，并且可于工件上形成加工品质良好的槽。