[发明专利]用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置

权利要求书

1.用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置，其特征在于，它包括：线光源（1）、线平移台（2）、成像镜头（3）和线阵CCD（4）；

将该装置的主光轴所在直线定义为三维直角坐标系的z轴，线光源（1）、线平移台（2）、成像镜头（3）和线阵CCD（4）沿z轴依次排布，线平移台（2）用于固定被测光学元件，线光源（1）平行且偏离三维直角坐标系的y轴，线平移台（2）垂直于z轴，且该线平移台（2）能够沿三维直角坐标系的x轴方向平移，成像镜头（3）固定在主光轴上、且该成像镜头（3）的光轴与主光轴重合，线阵CCD（4）的光敏面所在平面垂直于主光轴；

线光源（1）发出的光入射至固定在线平移台（2）上的被测光学元件，经该被测光学元件透射的光入射至成像镜头（3），该成像镜头（3）将入射光聚焦到线阵CCD（4）的光敏面上成像。

2.根据权利要求1所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置，其特征在于，线光源（1）由200至500根光纤紧密排布组成。

3.根据权利要求2所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置，其特征在于，光纤采用卤素灯作为发光光源。

4.根据权利要求1或2所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置，其特征在于，线光源（1）的长度与需要测量的光学元件全口径长度相同。

5.根据权利要求1所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置，其特征在于，成像镜头（3）为双凸透镜。

6.根据权利要求1所述的用于光学元件位相缺陷检测的线扫描相微分成像装置，其特征在于，线阵CCD（4）以120Hz的线采样率采集图像。