[发明专利]真空双室扩散连接装置及利用其进行扩散连接的方法

权利要求书

1.真空双室扩散连接装置，其特征在于：包括内室，所述内室分割为可启闭的高温室和常温室，所述高温室与所述常温室之间可启闭地连通，所述高温室和常温室分别与高温真空获得系统和常温真空获得系统连通，所述高温室内设置有上模组件和下模组件，所述常温室设置移动工件的机械手，所述机械手在所述高温室和常温室内移动，所述高温室内设置有加热装置。

2.根据权利要求1所述的真空双室扩散连接装置，其特征在于：所述高温室与常温室之间通过可开启和关闭的高温室炉门可启闭连接。

3.根据权利要求2所述的真空双室扩散连接装置，其特征在于：所述常温室最外端设置有开启或封闭常温室的常温室炉门。

4.根据权利要求1或2或3所述的真空双室扩散连接装置，其特征在于：所述常温室内设置有用于搁置工件的工作台，所述机械手设置于所述工作台上方。

5.根据权利要求1或2或3所述的真空双室扩散连接装置，其特征在于：所述上模组件包括上平台及上模，所述下模组件包括下平台及下模，所述上模固定在所述上平台底端，所述下模固定在所述下平台顶端，所述上模组件沿铅垂方向上下移动。

6.根据权利要求1或2或3所述的真空双室扩散连接装置，其特征在于：所述加热装置可以环设在所述高温室内壁上或者高温室内部。

7.利用权利要求1或2或3或4所述的真空双室扩散连接装置进行扩散连接的方法，其特征在于：包括以下步骤：

A．开启常温室炉门，将工件放入常温室内，关闭常温室炉门和高温室炉门，封闭常温室和高温室，高温真空获得系统和常温真空获得系统同时运行分别对封闭的常温室和高温室抽真空，使常温室和高温室均达到目标真空度；

B．加热装置加热升温，使得高温室内温度达到预定高温温度；

C．开启高温室炉门，使用机械手夹持工件，并将工件从常温室移至高温室内的下模具组件上，机械手退回常温室内；

D．关闭高温室炉门，上模组件下降压住工件，保持高温室内压力和真空度不变，加热装置加热，当温度达到预定高温温度时，在真空条件下，对位于高温室内的工件进行扩散连接；

E．开启高温室炉门，上模组件上升，机械手移动至高温室内，夹持工件，将工件从高温室移动至常温室，关闭高温室炉门；

F．加工后工件温度降低至预定低温温度时，开启常温室炉门，取出工件，并将下一个需要扩散连接的工件放入常温室，关闭常温室炉门，常温室真空获得系统运行，对常温室抽真空，常温室达到目标真空度后，重复B、C、D和E步骤对新放入的工件在真空条件下扩散连接；

G.依次重复F，直至所有需要加工的工件全部扩散连接完毕。

8.根据权利要求7所述的利用真空双室扩散连接装置进行扩散连接的方法，其特征在于：在常温室内所述工件放置在工作台上，在所述高温室内，所述工件搁置在下模具组件的下模具上。

9.根据权利要求7所述的利用真空双室扩散连接装置进行扩散连接的方法，其特征在于：所述高温室炉门上升开启高温室，使得高温室与所述常温室连通，所述高温室炉门下降封闭高温室，使得所述高温室与所述常温室断开连通。