[发明专利]一种多电极线性可调节的MEMS电容器

权利要求书

1.一种多电极线性可调节的MEMS电容器，包括：

介质衬底（100）；

设置于介质衬底（100）上的电容下极板（300）、第一锚点（401）、第二锚点（402）和多组控制电极，电容下极板（300）位于第一锚点（401）和第二锚点（402）之间，每组控制电极由对称分布于电容下极板（300）两侧的结构相同的a部分和b部分组成，a部分和b部分之间电气连接；

以及，

位于第一锚点（401）和第二锚点（402）上的电容上极板（200）。

2.如权利要求1所述的多电极线性可调节的MEMS电容器，其特征在于，所述第一锚点（401）和第二锚点（402）的高度不同，电容上极板（200）呈倾斜状态，沿电容上极板（200）倾斜下端向上端方向，对多组控制电极逐次加电压，每组控制电极上的电压均由低到高变化，使电容上极板（200）与电容下极板（300）之间的电容值呈近似线性的变化。

3.如权利要求1所述的多电极线性可调节的MEMS电容器，其特征在于，所述相邻组的控制电极之间间距相等或者不相等。

4.如权利要求1所述的多电极线性可调节的MEMS电容器，其特征在于，所述控制电极为N组，N为正整数，控制电极上覆盖一层介质层，以实现与电容上极板（200）之间的电隔离。

5.如权利要求4所述的多电极线性可调节的MEMS电容器，其特征在于，所述N为10。

6.如权利要求1所述的多电极线性可调节的MEMS电容器，其特征在于，所述电容下极板（300）设置于电容上极板（200）的正下方中间位置，比电容上极板（200）小，电容下极板（300）上覆盖一层介质层，以实现与电容上极板（200）之间的电隔离。

7.如权利要求1所述的多电极线性可调节的MEMS电容器，其特征在于，所述第一锚点（401）和第二锚点（402）的高度相同，电容上极板（200）呈水平状态，沿电容上极板（200）中间向两端方向，对多组控制电极逐次加电压，每组控制电极上的电压均由低到高变化，使电容上极板（200）与电容下极板（300）之间的电容值呈近似线性的变化。

8.如权利要求7所述的多电极线性可调节的MEMS电容器，其特征在于，位于电容下极板（300）的中心部位有一组控制电极，其余各组控制电极沿该中心部位的控制电极对称，且相对称的两组控制电极之间电气连接。