[发明专利]硅基毛细泵回路微型冷却器

权利要求书

1.一种硅基毛细泵回路微型冷却器，其特征在于，所述的微型冷却器由一对半导体硅片和耐热硼硅酸玻璃片（11）键合而成；所述的硅片（1）与硼硅酸玻璃片接触的表面刻蚀有蒸发器（2）、冷凝器（3）、汽相通道（4）、液相通道（5）、储液腔（6）和抽真空/注液通道（9）；所述的蒸发器（2）和冷凝器（3）由汽相通道（4）和液相通道（5）连接，形成闭合回路；所述的蒸发器（2）内部包括微小槽道；所述的冷凝器（3）包括冷凝微通道（8）；所述的冷凝微通道（8）由沿冷凝液流动方向刻蚀的硅片构成；所述的硼硅酸玻璃片（11）上加工有抽真空/注液孔（12）；所述的抽真空/注液孔（12）与冷凝器相连的抽真空/注液微通道（9）的顶端位置相对应；所述的储液腔（6）则与蒸发器（2）相连。

2.根据权利要求1所述的硅基毛细泵回路微型冷却器，其特征在于，所述的蒸发器（2）的微小槽道结构由微肋阵列毛细结构（7）或蒸发微通道（10）构成。

3.根据权利要求2所述的硅基毛细泵回路微型冷却器，其特征在于，所述的微肋阵列毛细结构（7）为蒸发器（2）处未被刻蚀的且经隔断处理后的硅片；所述的蒸发微通道（10）由沿冷却工质流动方向被刻蚀的硅片部分构成。

4.根据权利要求1所述的硅基毛细泵回路微型冷却器，其特征在于，所述的冷凝微通道（8）为等间距阵列。

5.根据权利要求3所述的硅基毛细泵回路微型冷却器，其特征在于，所述的微肋阵列毛细结构（7）的微肋横截面的形状为矩形、三角形或圆形；所述的蒸发微通道（10）和冷凝微通道（8）的截面为矩形、三角形或梯形。

6.根据权利要求1所述的硅基毛细泵回路微型冷却器，其特征在于，所述的汽相通道（4）和液相通道（5）的截面尺寸保持不变或者沿通道方向呈线性变化，且液相通道（5）的直径小于汽相通道（4）的直径。

7.根据权利要求6所述的硅基毛细泵回路微型冷却器，其特征在于，所述的汽相通道（4）和液相通道（5）的截面尺寸沿通道方向线性变化，其中汽相通道（4）从蒸发器（2）向冷凝器（3）方向线性增大；而液相通道（5）从蒸发器（2）向冷凝器（3）方向线性减小。

8.根据权利要求1所述的硅基毛细泵回路微型冷却器，所述的抽真空/注液微通道（9）内液体工质充注体积占整个硅基毛细泵回路总体积的40%~60%。

9.根据权利要求8所述的硅基毛细泵回路微型冷却器，其特征在于：所充注液体工质为环保低沸点相变工质，水、乙醇、FC-72等。

10.根据权利要求1至9任一项所述的硅基毛细泵回路微型冷却器，所述的硅基微冷却器能够直接与半导体微电子芯片集成为一体。