[发明专利]一种光电器件的排气激活方法

权利要求书

1.一种光电器件的排气激活方法，其特征在于，它包括以下步骤：

（1）将光电器件的排气管与真空排气台的真空系统相连接，然后开启真空排气台，对光电器件进行抽气，当光电器件内的真空度达到5×10^-3Pa至5.5×10^-3Pa时，预抽2至4h后给光电器件进行加温到300℃至400℃，保温4h至8h进行除气，然后降至室温；

（2）然后对光电器件通入氢气净化阴极平板，对聚焦极、各级倍增极、末级倍增极、阳极进行1200V至1500V高压放电去毛刺；

（3）然后将光电器件接入蒸锑通电回路进行蒸锑处理，蒸锑电流为1A～1.3A，蒸锑时间5至10分钟；

（4）开启高频电炉，用高频线圈烘烤钾管和铯管进行预先除气，直到钾管内的真空度不低于1×10^-4Pa时停止烘烤，然后烤出钾蒸汽赶至与排气管相连的小球内，摘除钾管；

（5）分别将光电器件的阴极与光电器件的第一倍增极接到激活电源上，钨丝灯光源固定在光电器件窗前端40～50mm处，使倍增区温度控制在200℃～250℃，阴极区温度控制在210℃～220℃，把小球内钾蒸汽赶至光电器件内，进钾激活，反复数次直到阴极面变为紫红色，摘除小球，然后烘去光电器件内的余钾；

（6）开启高频电炉，用高频线圈烘烤，对铯管除气，直到铯管内的真空度不低于1×10^-4Pa时停止烘烤，烤出铯蒸汽赶至与排气管相连的另一个小球内；

（7）在220℃至250℃的温度下引小球内铯蒸汽进入光电器件内，进行慢激活，当光电器件管的光电流上升至最大值后摘除铯管；

（8）将光电器件中的倍增区部位保持加热温度200℃～250℃，并且把光电器件中的阴极区保持加热温度150℃～200℃，分别烘烤24h至72h，烘去光电器件管内残余的碱金属，最后封离光电器件管。

2.根据权利要求1所述的光电器件的排气激活方法，其特征在于，步骤(1) 

当光电器件内的真空度达到5×10^-3Pa时，预抽2 h后给光电器件进行加温到330℃至370℃，保温4h进行除气，然后降至室温。

3.根据权利要求1所述的光电器件的排气激活方法，其特征在于，步骤(2) 所述的高压放电去毛刺的电压为1500V。

4.根据权利要求1所述的光电器件的排气激活方法，其特征在于，步骤(3)蒸锑处理时，蒸锑电流为1.1～1.15A，蒸锑时间6至8分钟。