[发明专利]测试分选机的传送单元及操作其的方法

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求2012年7月30日提交的韩国专利申请No.10-2012-0083256的优先权，该专利申请的公开内容全文特此以引用方式并入。

技术领域

本发明构思的实施例涉及用于测试生产出的半导体器件的测试分选机的传送单元。

背景技术

测试分选机是一种对接在测试器上的设备，以用于提供用于执行测试并且将半导体器件分类成非缺陷型和缺陷型的环境，以便测试通过预定制造工艺而制造的半导体器件的电特性和功能及可靠性。

发明内容

本发明构思的实施例提供了一种测试分选机的传送单元和操作该传送单元的方法，该传送单元能够即使在测试托盘倾斜的状态下也精确地保持测试托盘或者释放对测试托盘的保持。

本发明构思的实施例还提供了一种测试分选机的传送单元和操作该传送单元的方法，该传送单元在移动的同时没有造成测试托盘的晃动或震颤。

本总的发明构思的额外特征和效用将在随后的描述中部分阐述，并且部分地将根据描述而显而易见，或者可以通过总的发明构思的实践而获知。

根据本发明构思的示例性实施例，一种测试分选机的传送单元包括基体框架、浮动组件和臂部件。基体框架可以包括具有穿通孔的插入部。第一插入部可以包括部署在第一插入部的上表面附近的上插入部、部署在第一插入部的下部附近的下插入部和部署在上插入部和下插入部之间的中间插入部。上插入部的内径可以大于下插入部的内径。浮动组件可以被插入穿通孔中。浮动组件可以包括浮动部件、弹性元件和耦合元件。浮动组件可以在穿通孔中来回、朝向左右侧和上下地移动或者可以在穿通孔中在预定角度范围内旋转。

在本发明构思的示例性实施例中，测试分选机的传送单元包括位置检测单元和控制器。位置检测单元可以包括当保持测试托盘时接触测试托盘的上部的提升元件(sensor dog)。检测测试托盘是否接触提升元件的传感器可以位于提升元件上。当测试托盘没有接触提升元件时，传感器可以将电信号发射到控制器。

根据本发明构思的示例性实施例，一种测试分选机的传送单元包括：基体框架，该基体框架包括处于其相对端的第一插入部，每个第一插入部包括穿通孔；浮动组件，该浮动组件被插入每个穿通孔中，所述浮动组件包括浮动部件、部署在所述浮动部件上端的弹性元件和与所述浮动部件的下部耦合的耦合元件；臂部件，该臂部件耦合到每个浮动组件的耦合元件，使得所述臂部件单独调节四侧中的每侧的高度并且能够当接触要被拾取和传送的测试托盘时在侧向方向上移动。

在示例性实施例中，每个第一插入部包括部署在插入部上表面附近的上插入部、部署在插入部下部附近的下插入部和部署在上插入部和下插入部之间的中间插入部，并且上插入部的内径大于下插入部的内径。

在示例性实施例中，所述浮动部件包括：主体，该主体包括在其下部耦合到所述耦合元件的内螺纹部；以及第一突出部，该第一突出部从所述主体的侧表面突出，所述第一突出部的外径大于所述中间插入部的内径。

在示例性实施例中，第一插入部部署在所述第一基体框架的四个拐角中的每个处。

在示例性实施例中，所述臂部件包括：臂底座，该臂底座包括经由相应耦合元件耦合到浮动组件的上部；以及下部，该下部用于接触测试托盘，所述臂基座具有板形；拾取元件，该拾取元件安装在所述臂基座的上部上，以在往返预定距离的同时保持测试托盘或者释放对测试托盘的保持；以及导轨，所述拾取元件在所述导轨中往返。

附图说明

根据如在附图中示出的本发明构思的优选实施例的更具体描述，本发明构思的以上和其它特征和用途将是显而易见的，在不同的视图中，类似的附图标记始终表示相同的部件。附图不必是按比例的，替代地，在图示本发明构思的原理时被强调。在图中：

图1是根据本发明构思的实施例的测试分选机的示意性框图；

图2是根据本发明构思的实施例的测试分选机的传送单元的分解立体图；

图3是根据本发明构思的实施例的测试分选机的传送单元中的浮动组件的局部切除立体图；

图4是根据本发明构思的实施例的测试分选机的传送单元的剖视图；

图5A和图5B是示出根据本发明构思的实施例的传送单元的浮动组件的展开图的剖视图；

图6是根据本发明构思的实施例的测试分选机的传送单元的平面图；

图7是根据本发明构思的实施例的测试分选机的传送单元的正视图；

图8是示出根据本发明构思的实施例的配置测试分选机的传送单元的位置检测单元的展开图的剖视图；