[发明专利]石墨助凝块多晶硅锭炉

权利要求书

1.一种石墨助凝块多晶硅锭炉，包括炉体，其特征是：炉体内设置保温罩，保温罩放置在炉体内的底板上，保温罩的顶部和侧面设置加热器，保温罩内在底板上设置叠加在一起的两块助凝块，下面的助凝块底面设置为曲面。

2.根据权利要求1所述的石墨助凝块多晶硅锭炉，其特征是：所述的底面为曲面的助凝块其曲面形状由下式决定：

X=a*cosθ

Y=b*sinθ

a=                                                **(1+Δα)

b=**(1+Δα)

Δα=|T₀-T|*α 

α=0.2%/K

Ф₁=K₁*A₁*ΔT;   Ф₂=K₂*A₂*ΔT

式中：

D₁:顶部石墨助凝块厚度；D₂：石英坩埚壁厚；L:氩气流量；K_1:氩气热传导系数；K₂：石墨热传导系数；A₁：顶部石墨助凝块面积；A₂：氩气与底部石墨助凝块接触面积；ΔT：石墨助凝块块与多晶硅温度差；m：多晶硅质量；α：温度修正系数；T：多晶硅温度。

3.根据权利要求2所述的石墨助凝块多晶硅锭炉，其特征是：所述的a值在1500~3000 mm之间, b值在150~1000 mm之间, θ值在60~90°之间。