[发明专利]基于柔性衬底的微型三维电场传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种基于柔性衬底的微型三维电场传感器，包括：

柔性衬底；

多个敏感单元分别形成于所述柔性衬底上；

折叠柔性衬底实现电场传感器的三维结构。

2.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的微型三维电场传感器，所述多个敏感单元包括三个敏感单元，在X、Y和Z方向分别设置一个敏感单元。

3.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的微型三维电场传感器，所述多个敏感单元包括四个敏感单元，其中，在X和Y方向分别设置两个敏感单元，所述四个敏感单元通过差分结构布置，分别测量X和Y向电场，Z向电场通过所述四个敏感单元的输出计算得到。

4.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的微型三维电场传感器，所述多个敏感单元包括六个敏感单元，在X、Y和Z方向分别设置两个敏感单元。

5.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的微型三维电场传感器，还包括：

固定架，位于所述折叠后柔性衬底的内侧，用于支撑所述柔性衬底。

6.根据权利要求5所述的基于柔性衬底的微型三维电场传感器，其特征在于，所述固定架与柔性衬底通过粘合剂粘合或机械固定的方式连接，其材料为金属、塑料、合金或树脂。

7.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的微型三维电场传感器，其特征在于，所述柔性衬底的材料为以下材料的一种或多种：聚二甲基硅氧烷、或聚酰亚胺、或聚对苯二甲酸乙二醇酯。

8.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的微型三维电场传感器，其特征在于，所述柔性衬底的厚度可为0.1μm～10000μm之间。

9.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的微型三维电场传感器，其特征在于，所述敏感单元为水平振动、竖直振动或转动式敏感单元，其材料为硅基材料、金属、金属合金、或压电材料。

10.根据权利要求1所述的基于柔性衬底的微型三维电场传感器，其特征在于，所述柔性衬底折叠后，多个敏感单元成相互垂直或成预设角度。

11.一种基于柔性衬底的微型三维电场传感器的制备方法，其特征在于，用于制备权利要求1至10中任一项所述的微型电场传感器，包括：

将配制好的的柔性衬底材料旋涂在硬性基底上；

待所述柔性衬底材料固化形成柔性衬底后，在所述硬性基底的预设位置制备敏感单元，并去除敏感单元位置之外的硬质基底；以及

对柔性衬底进行折叠，使敏感单元分别位于不同的平面上，完成三维电场传感器的制备。