[发明专利]一种具有双重作用电极的发光二极管及其制作方法有效
| 申请号: | 201310316602.3 | 申请日: | 2013-07-25 |
| 公开(公告)号: | CN103390709A | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
| 发明(设计)人: | 徐琦;康建;郑远志;陈向东;李晓莹 | 申请(专利权)人: | 马鞍山圆融光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/38 | 分类号: | H01L33/38 |
| 代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 孙佳胤 |
| 地址: | 243000 安徽省马鞍山市马鞍*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 具有 双重 作用 电极 发光二极管 及其 制作方法 | ||
1.一种具有双重作用电极的发光二极管,包括衬底、衬底正面依次设置的N型半导体层、有源层和P型半导体层,其特征在于,进一步包括一正面P型电极、一正面N型电极以及一背面与侧面电极,所述正面P型电极设置在P型半导体衬底表面,正面N型电极设置在N型半导体衬底表面,所述背面与侧面电极包裹衬底的背面和侧面,且与N型半导体层的侧面以及正面N型电极接触,以起到扩展发光二极管电流的效果。
2.根据权利要求1所述的具有双重作用电极的发光二极管,其特征在于,正面P型电极和正面N型电极的材料各自独立地选自于Cr/Au、Cr/Pt/Au、Cr/Pd/Au、Ti/Al、Ti/Au、Ti/Al/Ti/Al、Ti/Al/Cr/Au、和Cr/Al/Cr/Au其中的一种或者它们的组合。
3.根据权利要求1所述的具有双重作用电极的发光二极管,其特征在于,正面P型电极和正面N型电极的厚度范围是300μm~2000μm。
4.根据权利要求1所述的具有双重作用电极的发光二极管,其特征在于,背面与侧面电极的材料选自于Ti/Al/Ti/Al、Ti/Al/Cr/Au、Cr/Al/Cr/Au、和Ti/Al/Cr/Au其中的一种或者它们的组合。
5.根据权利要求1所述的具有双重作用电极的发光二极管,其特征在于,背面与侧面电极的厚度范围是300nm~3000nm。
6.一种具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
在一衬底的正面依次生长N型半导体层、有源层和P型半导体层;
刻蚀露出部分N型半导体层;
在N型半导体层表面形成正面N型电极、并在P型半导体层表面形成正面P型电极;
在衬底正面形成覆盖层,所述覆盖层覆盖正面P型电极和正面N型电极,但暴露出正面N型电极的至少一侧面;
划片形成分立发光二极管;
在分立发光二极管表面形成包覆层,所述包覆层覆盖分立发光二极管侧面以及衬底的背面;
除去覆盖层,从而形成包裹衬底的背面和侧面,且与N型半导体层的侧面以及正面N型电极接触的背面与侧面电极,以起到扩展发光二极管电流的效果。
7.根据权利要求6所述的具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,正面P型电极和正面N型电极的材料各自独立地选自于Cr/Au、Cr/Pt/Au、Cr/Pd/Au、Ti/Al、Ti/Au、Ti/Al/Ti/Al、Ti/Al/Cr/Au、和Cr/Al/Cr/Au其中的一种或者它们的组合。
8.根据权利要求6所述的具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,正面P型电极和正面N型电极的厚度范围是300μm~2000μm。
9.根据权利要求6所述的具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,背面与侧面电极的材料选自于Ti/Al/Ti/Al、Ti/Al/Cr/Au、Cr/Al/Cr/Au、和Ti/Al/Cr/Au其中的一种或者它们的组合。
10.根据权利要求6所述的具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,背面与侧面电极的厚度范围是300nm~3000nm。
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