[发明专利]一种具有双重作用电极的发光二极管及其制作方法有效

专利信息
申请号: 201310316602.3 申请日: 2013-07-25
公开(公告)号: CN103390709A 公开(公告)日: 2013-11-13
发明(设计)人: 徐琦;康建;郑远志;陈向东;李晓莹 申请(专利权)人: 马鞍山圆融光电科技有限公司
主分类号: H01L33/38 分类号: H01L33/38
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 孙佳胤
地址: 243000 安徽省马鞍山市马鞍*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 双重 作用 电极 发光二极管 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种具有双重作用电极的发光二极管,包括衬底、衬底正面依次设置的N型半导体层、有源层和P型半导体层,其特征在于,进一步包括一正面P型电极、一正面N型电极以及一背面与侧面电极,所述正面P型电极设置在P型半导体衬底表面,正面N型电极设置在N型半导体衬底表面,所述背面与侧面电极包裹衬底的背面和侧面,且与N型半导体层的侧面以及正面N型电极接触,以起到扩展发光二极管电流的效果。

2.根据权利要求1所述的具有双重作用电极的发光二极管,其特征在于,正面P型电极和正面N型电极的材料各自独立地选自于Cr/Au、Cr/Pt/Au、Cr/Pd/Au、Ti/Al、Ti/Au、Ti/Al/Ti/Al、Ti/Al/Cr/Au、和Cr/Al/Cr/Au其中的一种或者它们的组合。

3.根据权利要求1所述的具有双重作用电极的发光二极管,其特征在于,正面P型电极和正面N型电极的厚度范围是300μm~2000μm。

4.根据权利要求1所述的具有双重作用电极的发光二极管,其特征在于,背面与侧面电极的材料选自于Ti/Al/Ti/Al、Ti/Al/Cr/Au、Cr/Al/Cr/Au、和Ti/Al/Cr/Au其中的一种或者它们的组合。

5.根据权利要求1所述的具有双重作用电极的发光二极管,其特征在于,背面与侧面电极的厚度范围是300nm~3000nm。

6.一种具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

在一衬底的正面依次生长N型半导体层、有源层和P型半导体层;

刻蚀露出部分N型半导体层;

在N型半导体层表面形成正面N型电极、并在P型半导体层表面形成正面P型电极;

在衬底正面形成覆盖层,所述覆盖层覆盖正面P型电极和正面N型电极,但暴露出正面N型电极的至少一侧面;

划片形成分立发光二极管;

在分立发光二极管表面形成包覆层,所述包覆层覆盖分立发光二极管侧面以及衬底的背面;

除去覆盖层,从而形成包裹衬底的背面和侧面,且与N型半导体层的侧面以及正面N型电极接触的背面与侧面电极,以起到扩展发光二极管电流的效果。

7.根据权利要求6所述的具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,正面P型电极和正面N型电极的材料各自独立地选自于Cr/Au、Cr/Pt/Au、Cr/Pd/Au、Ti/Al、Ti/Au、Ti/Al/Ti/Al、Ti/Al/Cr/Au、和Cr/Al/Cr/Au其中的一种或者它们的组合。

8.根据权利要求6所述的具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,正面P型电极和正面N型电极的厚度范围是300μm~2000μm。

9.根据权利要求6所述的具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,背面与侧面电极的材料选自于Ti/Al/Ti/Al、Ti/Al/Cr/Au、Cr/Al/Cr/Au、和Ti/Al/Cr/Au其中的一种或者它们的组合。

10.根据权利要求6所述的具有双重作用电极的发光二极管的制作方法,其特征在于,背面与侧面电极的厚度范围是300nm~3000nm。

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