[发明专利]一种扩散炉的炉门密封装置有效
| 申请号： | 201310312585.6 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN103363808A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 曹文;朱廷刚;朱廷勇 | 申请（专利权）人： | 江苏能华微电子科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;汪青 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 炉门 密封 装置 | ||
1.一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：包括炉门、管件、第一水套、第二水套以及密封件，所述的密封件包括第一密封圈、第二密封圈以及第三密封圈，所述的第一水套套设在所述的管件上，所述的第二水套连接在所述的管件的端部并与所述的第一水套相连接，所述的炉门连接在所述的第二水套上，所述的第一密封圈设置在所述的第一水套、第二水套之间，所述的第二密封圈设置在所述的第二水套与管件的端部之间，所述的第三密封圈设置在所述的第二水套与炉门之间。
2.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第二水套与第一水套连接一侧内圈的端部具有向外侧倾斜的锥面，所述的第一密封圈设置在所述的第二水套倾斜的锥面与所述的第一水套之间。
3.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的炉门上设置有炉门冷却水管，所述的炉门冷却水管具有炉门冷却水入口、炉门冷却水出口。
4.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第一水套上设置有第一水套冷却水管，所述的第一水套冷却水管具有第一水套冷却水入口、第一水套冷却水出口。
5.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第二水套上设置有第二水套冷却水管，所述的第二水套冷却水管具有第二水套冷却水入口、第二水套冷却水出口。
6.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第二水套上开设有气体入口、气体出口，所述的气体出口连接有石英气管，所述的石英气管能够伸入至所述的管件的尾端。
7.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第一密封圈、第三密封圈为O型密封圈；所述的第二密封圈为四氟密封圈。
8.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的炉门为不锈钢炉门；所述的第一水套、第二水套均为不锈钢水套。
9.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的管件为石英管。
10.根据权利要求1所述的一种扩散炉的炉门密封装置，其特征在于：所述的第一水套、第二水套之间通过法兰相连接。
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