[发明专利]一种ITO玻璃片清洗治具

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃片清洗治具，具体为一种ITO玻璃片清洗治具。

背景技术

在现代LED生产制造过程中，晶片在匀上光刻胶后经曝光、显影、烘烤、再进行ITO镀膜处理，蒸镀时需要使用石英灯对真空腔体进行加热处理，ITO蒸发源在电子束高速的轰击下，蒸发源蒸发到晶片上和腔体内壁，每当蒸镀次数达到30RUN时，腔体内温度均匀性开始明显变差，晶片单位面积的面电阻变大，此时需要更换新的石英玻璃片，保证真空腔室在镀膜时温度均匀性稳定。而更换下来的石英玻璃片需使用ITO蚀刻液将玻璃片上一层ITO膜清洗干净，烘干后再使用，在清洗玻璃片时就需使用专用的清洗治具。

国内大部分LED制造行业都没有标准的清洗玻璃片治具，对于清洗玻璃片几乎都是采用手动作业方式，每次只是将玻璃片（5块）放置在清洗产品的卡塞内或提篮上，这样一则清洗效率低，二则清洗作业不规范，在ITO槽体内取放玻璃片过程中很有可能发生玻璃片脱落将石英缸砸碎或将ITO蚀刻液飞溅到作业员身上，造成高危化学药液伤人事故。

发明内容

    本发明所解决的技术问题在于提供一种ITO玻璃片清洗治具，以解决上述背景技术中的问题。

本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种ITO玻璃片清洗治具，包括：侧板、底板、中板，所述底板分为上下两块，侧板与底板组成清洗治具池，清洗治具池中部设有中板，中板为两块薄板合板，清洗治具池内部设有固定玻璃片卡槽，固定玻璃片卡槽分为四个台阶，用于固定不同尺寸的玻璃片。

所述侧板、底板、中板、固定玻璃片卡槽材质为PTFE材料。

优选的，所述侧板尺寸为205mm*40mm*5.0mm，中板尺寸为215mm*57.5mm*5.0mm，固定玻璃片卡槽分为四个台阶；固定玻璃片卡槽中三个台阶，用于固定长度为120mm、135mm、150mm的玻璃片。

有益效果：本发明在没有使用新的清洗治具之前，每次使用花篮清洗玻璃片一次最多8块小的或3块大的玻璃片，使用新的清洗玻璃片治具后，一次可以清洗27片不同规格的玻璃片，清洗效率大幅度提高，缩短占用正常生产时间，提高产量提高经济效益；另外本发明降低在取放玻璃片的过程中，由于玻璃片脱落将石英缸砸碎的可能性，提高设备安全运行的可能性。

附图说明

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明的俯视图示意图。

具体实施方式

为了使本发明的技术手段、创作特征、工作流程、使用方法达成目的与功效易于明白了解，下面进一步阐述本发明。

如图1～2所示，一种ITO玻璃片清洗治具，包括：侧板2、底板4、中板1，所述底板4分为上下两块，侧板2与底板4组成清洗治具池，清洗治具池中部设有中板1，中板1为两块薄板合板，清洗治具池内部设有固定玻璃片卡槽3，固定玻璃片卡槽3分为三个台阶，用于固定不同尺寸的玻璃片。

所述侧板2、底板4、中板1、固定玻璃片卡槽3材质为PTFE材料。

优选的，所述侧板2尺寸为205mm*40mm*5.0mm，中板1尺寸为215mm*57.5mm*5.0mm，固定玻璃片卡槽3分为四个台阶；固定玻璃片卡槽3中三个台阶，用于固定长度为120mm、135mm、150mm的玻璃片。

本发明的使用方法为：首先测量不同ITO蒸镀机台所用不同规格尺寸的石英玻璃片尺寸；其次根据石英玻璃片规格尺寸设计专用清洗治具；最后将不同规格的玻璃片放入专用的清洗治具内进行测试；清洗流程包括以下步骤：

a)根据不同规格尺寸的玻璃片按照由短到长的顺序依次放入第一级卡槽内、第二级卡槽内、第三级卡槽内；

b)将装好待洗的玻璃片治具放入ITO蚀刻溶液中，蚀刻3～9分钟；

c)将蚀刻干净的玻璃片取出放入QDR水槽中进行冲洗；

d)取出玻璃片放入烘箱中烘干，将治具放入规定放置点。

本发明解决了传统手工使用简易治具（花篮）清洗玻璃片耗时长、效率低，占用生产时间长的问题；同时解决了玻璃片尺寸兼容问题，由于玻璃片尺寸不是一样大小，所以清洗时需要使用多种不同的治具清洗玻璃片；另外针对现有ITO蒸镀机台使用的玻璃片尺寸设计清洗玻璃片专用治具，使用新清洗玻璃片治具后，可以确保在清洗玻璃片的过程中，不再发生因玻璃片脱落，将石英缸砸碎或发生ITO飞溅伤人事故问题。

以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征及本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明的要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。