[发明专利]一种新型石墨舟在审
申请号: | 201310312271.6 | 申请日: | 2013-07-24 |
公开(公告)号: | CN104347458A | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
发明(设计)人: | 姬有 | 申请(专利权)人: | 姬有 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 成立珍 |
地址: | 214203 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 石墨 | ||
技术领域
本发明涉及一种太阳能电池治具,特别是一种新型石墨舟。
背景技术
目前,现有的太阳能电池片生产PECVD 当中使用的是石墨舟圆形卡点,用于卡住石墨舟片当中的硅片,以便在进行放电反应时有较良好的通电,使氮化硅沉积在硅片的表面,形成80-85AM 厚的氮化硅膜。但硅片和卡点接触的部分由于被卡点遮挡没有形成氮化硅膜,致使最终电池边缘有一定的瑕疵。如何使遮挡部分减少,或者消除遮挡部分对电池片的影响,是急需解决的问题。
发明内容
发明目的:本发明的目的在于解决现有技术石墨舟卡点数过多而引起的成本过高,并且卡点位置设置不当引起的造成电池板边缘遮挡的问题。
技术方案:本发明提供以下技术方案:一种新型石墨舟,包括石墨舟基板,石墨舟基板底部设置圆柱形固定柱,石墨舟基板两侧分别设置星型卡点。
作为优化,所述圆柱形固定柱的厚度为2.5mm,直径为9mm。
作为优化,所述星形卡点所在的圆是以8mm为半径的圆。 有益效果: 本发明与现有技术相比:圆柱形固定柱用于从下方拖住电池板,防止下滑,两侧的星型卡点用于卡住电池板两侧,并且星型卡点对应于电池板上的主栅线。本发明的设计能够使卡点对电池片的影响就由原来的三个点减为两个点,减少了用料,节约了成本并且通过星型卡点对应主栅线,能够充分利用电池板的死区,减少电池片的遮挡面积,提高了太阳能转换效率。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
具体实施方式
如附图1所示一种新型石墨舟,包括石墨舟基板1,石墨舟基板1底部设置圆柱形固定柱2,石墨舟基板1两侧分别设置星型卡点3。所述圆柱形固定柱2的厚度为2.5mm,直径为9mm。所述星形卡点3所在的圆是以8mm为半径的圆。
本发明的圆柱形固定柱用于从下方拖住电池板,防止下滑,两侧的星型卡点用于卡住电池板两侧,并且星型卡点对应于电池板上的主栅线。本发明的设计能够使卡点对电池片的影响就由原来的三个点减为两个点,减少了用料,节约了成本并且通过星型卡点对应主栅线,能够充分利用电池板的死区,减少电池片的遮挡面积,提高了太阳能转换效率。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造