[发明专利]一种单晶硅片碱性制绒液的无醇添加剂及其应用无效
| 申请号： | 201310309940.4 | 申请日： | 2013-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN103361740A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 姜翰钦 | 申请（专利权）人： | 德清丽晶能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 杭州丰禾专利事务所有限公司 33214 | 代理人： | 王鹏举 |
| 地址： | 313200 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 碱性 制绒液 添加剂 及其 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种单晶硅片碱性制绒液的无醇添加剂，其特征在于，由以下组分及重量百分比组成：
含6-12碳链的脂肪醇聚氧乙烯醚：0.15%-5%
苯甲酸钠：0.1%-5%
无水葡萄糖：0.15%-5%
余量为水。
2.如权利要求1所述的单晶硅片碱性制绒液的无醇添加剂，其特征在于，所述的水为去离子水。
3.如权利要求1所述的单晶硅片碱性制绒液的无醇添加剂的应用，其特征在于，将无醇添加剂加入碱性腐蚀液中形成碱性制绒液，然后将单晶硅片投入到碱性制绒液中，制绒温度75-85℃，制绒时间800-1200s，其中所述无醇添加剂与碱性腐蚀液的重量比为1-3:100。
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