[发明专利]均热板及其制造方法

权利要求书

1.一种均热板，包括吸热和散热部分，其特征在于：所述吸热部分为内面设有凹槽（4）的受热板（2），所述散热部分为与所述受热板（2）内面焊接在一起的平板散热板（3），该散热板（3）与所述凹槽（4）之间形成注有工作介质（7）的真空内腔（11），在所述真空内腔（11）中的受热板（2）部分设有由单质金属粉末烧结而成的毛细结构层（22）。

2.根据权利要求1所述的均热板，其特征在于：在所述凹槽（4）底面均匀设有至少二个垂直于凹槽（4）底面并与所述毛细结构层（22）连为一体的毛细结构的支撑柱（23），所述支撑柱（23）向所述散热板（3）延伸并相接。

3.根据权利要求2所述的均热板，其特征在于：所述金属粉末是目数为50－150的铜粉末。

4.根据权利要求2所述的均热板，其特征在于：所述受热板（2）和散热板（3）均为无氧铜材料所制。

5.根据权利要求2所述的均热板，其特征在于：所述工作介质（7）为纯水、丙酮或甲醇，注入量为所述内腔容积的10%—40%。

6.根据权利要求2所述的均热板，其特征在于：所述真空内腔（11）中的真空度在10^－2帕斯卡—10^－5帕斯卡。

7.根据权利要求1－6中任一项所述的均热板，其特征在于：所述毛细结构层（22）的厚度在0.3mm—0.8mm。

8.一种制造权利要求1—7中任一项所述均热板的方法，其特征在于：将由导热良好的金属材料制作的带有毛细结构层（22）的受热板（2）与散热板（3）焊接在一起制成具有真空内腔（11）的均热板（1），其步骤如下：

1）选取两块厚度为0.2mm—1.6mm的金属薄板，其中，一块经冲压制成内面具有凹槽（4）且预留抽气管（5）位的受热板（2），另一块为平板状的散热板（3）；

2）对受热板（2）和散热板（3）清洗除污、烘干；

3）将预先设计的由石墨材料制作的模具放入受热板（2）的凹槽（4）中，在模具与凹槽（4）底面、侧壁之间填充单质金属粉末；或者，将预先设计的由石墨材料制作的模具放入受热板（2）的凹槽（4）中，在该模具中设有至少二个垂直于凹槽（4）底面的中空立柱筒，在模具与凹槽（4）底面、侧壁之间及立柱筒中填充金属粉末；

4）将填充有金属粉末的受热板（2）置于振动器中振动，使所述金属粉末的填充密度值达到2－5克/cm³；

5）将受热板（2）放入充有保护气体并具有与该受热板（2）金属相适应的升温、保温和降温段的热炉中进行烧结；

6）将在凹槽（4）内烧结有毛细结构层（22）的受热板（2），或者将在凹槽（4）内烧结有毛细结构层（22）和毛细结构支撑柱（23）的受热板（2）取出，摘除所述的模具；

7）将散热板（3）以封盖在所述凹槽（4）上的方式与受热板（2）结合在一起，放入充有保护气体并具有与该散热板（3）和受热板（2）焊接相适应的升温、保温和降温段的热炉中进行高温封接；

8）将封接好的散热板（3）和受热板（2）取出，抽出其内腔中的空气至真空度为10^－2帕斯卡—10^－5帕斯卡；

9）注入工作介质（7），封焊抽气管（5）即可。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于：所述受热板（2）与散热板（3）均为无氧铜材料所制。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于：烧结时，升温段速度为6℃/min至900℃，保温段于900℃情况下维持50min，降温段以2℃/min的速度降至室温。