[发明专利]一种纳米氧化锌定向阵列的制备方法

权利要求书

1.一种纳米氧化锌定向阵列的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)将0.1mol/L~0.5mol/L的Zn盐水溶液和质量浓度1%~1.5%的聚乙烯基吡咯烷酮水溶液按Zn²⁺/聚乙烯基吡咯烷酮摩尔比为2：1～1：2混合，得到混合溶液；

(2)将氨水滴入步骤(1)制备的混合溶液中，调节混合溶液的pH值为10~11，得到聚乙烯基吡咯烷酮-Zn(OH)₂络合溶液；

(3)将表面极化处理过的抛光洁净硅（100）衬底水平浸入步骤(2)配置好的聚乙烯基吡咯烷酮-Zn(OH)₂络合溶液,保温3h，取出硅片;

(4)将步骤(3)取出的硅片放在刚玉舟上，置于管式炉中，在20ml/min~60ml/min的氧气流速下，以5℃/min的加热速率升温到420℃氧化烧结0.5~1.5h；

(5)硅片自然降温至室温后用90℃去离子水反复冲洗，于空气中晾干，得到纳米氧化锌定向阵列。

2.根据权利要求1所述的纳米氧化锌定向阵列的制备方法，其特征在于步骤（1）中所说的Zn盐为Zn(CH₃COO)₂·2H₂O、ZnCl₂或Zn(NO₃)₂。

3.根据权利要求1所述的纳米氧化锌定向阵列的制备方法，其特征在于步骤（1）中所说的聚乙烯基吡咯烷酮的平均分子量为1000~1300000。

4.根据权利要求1所述的纳米氧化锌定向阵列的制备方法，其特征在于步骤(3)所说的抛光洁净硅为N型，厚度440μm，电阻率为10^-2~10^-3Ω·cm，晶向为<100>。