[发明专利]一种改善48所M42300-1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果的辅助工艺

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池器件制造技术领域，主要用来改善48所M42300-1/UM型刻蚀机刻蚀效果。

背景技术

目前，晶体硅太阳能电池的发展方向依然是降低成本和提高效率。为了达到这两个目标，在去边缘PN结方面，主要采用等离子体干法刻蚀和链式湿法刻蚀两种方法。目前，链式湿法刻蚀设备主要依赖进口，严重增加了生产固有成本。

而48所自主研制的M42300-1/UM型等离子体刻蚀机，在满足传统太阳能电池的工艺的基础上，M42300-1/UM型等离子体刻蚀机完全属于自主研发设备，且每次刻蚀最大数量800片，即降低了生产成本，又提高了生产产能。但是，其刻蚀效果容易受到腔体残留废气、干泵机管道废气等残余气体的影响，并在刻蚀边缘形成细长的黑线。该黑线严重影响了电池片的效率及各种电性能参数。而本辅助工艺能够有效的预防刻蚀黑线的形成。

发明内容

为了解决M42300-1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀效果不佳的问题，本发明在刻蚀前运行本辅助工艺，能够长期有效的预防刻蚀黑线的产生，并改善其刻蚀效果，本发明通过以下技术方案实现：

1.一种应用于M42300-1/UM型等离子体刻蚀机的辅助工艺，工艺步骤包括：(1)、关闭自动模式切换手动模式(2)、打开预抽(3)、打开主抽(4)、清洗20min(5)、关闭清洗(6)、关闭主抽(7)、关闭预抽(8)、充气(9)、充气(10)、手动模式切换自动模式。

2.如权利要求1所述的该辅助工艺，其特征在于，生产前利用氮气清洗

设备内部残余废气20min。

本发明具有如下显著优点：

1.操作简捷，耗时短，成本低。

2.能有效预防刻蚀黑线的产生。

附图说明

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步介绍，但不作为对本发明专利的限定。

图1是辅助工艺运行步骤

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。

如附图1所示，运行42300-1/UM型等离子体刻蚀机刻蚀前，按步骤运行辅助工艺，对机体清洗20分钟。

本发明专利的特定实施例已对本发明专利的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明专利精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明专利的侵犯，将承担相应的法律责任。