[发明专利]一种双灯丝等离子淋浴装置

权利要求书

1.一种双灯丝等离子淋浴的装置，该装置主要用于低能大束流离子注入末端中的离子束的电子中和。该装置主要包括如下部分，2个离子源及引出系统(1)，包括灯丝，弧室腔体，磁铁，引出电极，连接条；送气系统(2)，包括阀门，接头，管子；4个水冷电极(3)，包括公引线头，母引线端子，绝缘压环，密封圈，引线保护罩等；冷却系统(4)，主要由快插接头、NPT接头、水冷管及管道等组成循环管路来冷却系统发热部件；安装支撑系统(5)，包括法兰，绝缘法兰、水冷支架。其特征在于采用双灯丝结构，与单灯丝相比淋浴效果更好、效率更高；同时该装置结构紧凑，采用模块化的设计方式，安装维护方面，合理设计的冷却系统可以延长该装置的使用寿命。本装置使用于大束流离子注入装置，实际使用效果较好。

2.权利要求1的离子束水平聚焦的装置，其中共有两个所述离子源及引出系统(1)，主要由引出电极(6)，灯丝(7)，磁铁(8)，弧室(9)，灯丝座(10)灯丝连杆(11)等；弧室(9)一侧有一孔通气进入弧室，弧室(9)两侧有两块磁铁(8)，其作用是产生磁场使发射电子做螺旋运动，增加碰撞气体分子概率；灯丝座(10)灯丝连杆(11)用来夹持安装灯丝。

3.权利要求1的离子束水平聚焦的装置，其中送气系统(2)，主要由送气钢管，焊接接头，气阀等焊接而成，其中主送气管管径为1/4”，进气管径1/8”。

4.权利要求1的离子束水平聚焦的装置，其中水冷电极(3)，主要由引线头保护套(12)，母引线头(13)，公引线端子(14)，绝缘套(15)，绝缘压环(16)，O型密封圈(17)组成，母引线头(13)与公引线端子(14)弹性连接，通过插拔方式安装拆卸，公引线端子(14)内加工有通孔用来通水冷却自身。

5.权利要求1的离子束水平聚焦的装置，其中冷却系统(4)，主要由主要由快插接头、NPT接头、水管及管道等组成，4个水冷电极之间通过NPT接头用1/4”水管串联，最后和水冷支架上面的管路串联。