[发明专利]真空阀

说明书

技术领域

本发明涉及一种真空阀，包括：带有第一和第二阀开口的阀壳体，该阀开口具有平行的轴线且相应由阀座包围；第一和第二阀板，其可在打开位置(在其中阀板开启相应的阀开口)、中间位置(在其中阀板覆盖相应的阀开口但从阀座提起)以及闭合位置(在其中阀板贴靠在相应的阀座处)之间进行调节；承载单元，由该承载单元来承载阀板且该承载单元具有驱动元件以用于在中间位置与闭合位置之间调节第一和第二阀板，该驱动元件相应地包括具有至少一个气缸室的气缸和布置在气缸室中的带有活塞杆(其与阀板中的一个相连接)的至少一个活塞。

背景技术

从文件WO 2011/096613 A1、文件KR 1－2010－0061214以及文件US 2006/0225811 A1中已知一种带有第一和第二阀板的真空阀，阀板在真空阀的闭合的状态中封闭阀壳体的第一和第二阀开口。在其中，承载阀板的承载单元安装在至少一个阀杆处，该阀杆可在其纵轴线的方向上移动。可通过移动阀杆在打开位置(在其中，阀板开启相应的阀开口)与中间位置(在其中，阀板覆盖相应的阀开口但从阀座提起)之间调节阀板。活塞－气缸单元(在其活塞杆处安装有阀板)集成到板状或方形的承载单元中。借助于活塞－气缸单元可在中间位置与闭合位置(在其中，阀板封闭相应的阀开口)之间调节阀板。

从文件US 6 899 316 B2中得知一种真空阀，在其中，单个的阀板由承载单元来承载。作为用于阀板的驱动元件的活塞－气缸单元(在其活塞杆处安装有阀板)集成到方形的承载单元中。承载单元安装在在其纵轴线的方向上可调节的阀杆处。类似的真空阀已通过使用而变得已知。在其中，作为用于阀板的驱动元件重新设置有活塞－气缸单元，其在此固定在板状的承载单元的外侧处。活塞－气缸单元的活塞杆在端侧构造成带有扩大的头部。活塞杆的头部驶入到凹陷的槽口中，阀板设有该槽口。在阀板的表面处限制相应的槽口的纵向边缘因此形成容纳切口以用于相应的活塞杆以活塞杆的联接到头部区段处的颈部区段的驶入。固定螺栓(其穿过阀板旋入到活塞杆中)用于将头部固定在槽口中。同样在文件KR 10/2010－061214的真空阀中，阀板与承载单元的驱动元件以类似的方式相连接。

文件US 2004/0079915 A1和文件US 6 561 484 B2显示了真空阀，在其中，阀板和相对而置的支撑板由承载单元来承载并且可借助于活塞－气缸单元相对于承载单元进行调节。在闭合的状态中，支撑板支撑在阀壳体处以便将阀板压紧到阀座处。

在从文件US 2008/0066811 A1中已知的真空阀中，承载单元(在该承载单元处在相对而置的侧部上安装有第一和第二阀板)借助于推杆来移动以便或者将第一阀板压紧到阀座处或者将第二阀板压紧到阀座处。推杆由布置在阀壳体处的活塞－气缸单元来操纵。

从文件US 2011/0095218 A1中得知一种真空阀，在其中，第一和第二阀板不可运动地固定在承载单元处。为了将阀板中的一个交替地压紧到阀座中的一个处，承载单元借助于阀杆来调节。阀板通过引导部推移到承载单元上，其中，承载单元的突出部接合到相应的阀板的凹陷的槽口中。

发明内容

本发明的目的在于提供一种开头所提到的类型的有利的且成本有利的真空阀。根据本发明，这通过根据本发明的真空阀来实现。根据本发明的真空阀包括：

- 带有第一和第二阀开口的阀壳体，该阀开口具有平行的轴线并且相应地由阀座包围，

- 第一和第二阀板，该阀板可在打开位置、中间位置以及闭合位置之间进行调节，在该打开位置中阀板开启相应的阀开口，在该中间位置中阀板覆盖相应的阀开口但从相应的阀座提起，在该闭合位置中阀板贴靠在相应的阀座处，

- 承载单元，由该承载单元来承载阀板且该承载单元具有驱动元件以用于在中间位置与闭合位置之间调节第一和第二阀板，该驱动元件相应地包括具有至少一个气缸室的气缸和布置在气缸室中的带有活塞杆的至少一个活塞，该活塞杆与阀板中的一个相连接。

在根据本发明的真空阀中承载单元具有至少一个第一和第二支杆，驱动元件的气缸与支杆刚性地相连接。气缸在此相应地跨越处在第一和第二支杆之间的中间腔，其中，第一和第二支杆在相对而置的侧部上侧向地布置在驱动元件的活塞杆旁边。

由此可提供有利的且节省材料的结构，其可以简单的方式与真空阀的不同的尺寸相匹配。