[发明专利]接触应力传感器

权利要求书

1.一种接触应力传感器，其特征在于：包括设有若干通孔（11）的柔性支撑基底（1）、应变计（2）、柔性传输线（3）和柔性介质（4），其中，柔性支撑底座（1）位于最下方，应变计（2）与柔性传输线（3）通过引线键合连接为一个整体后粘结于柔性支撑底座（1）的上表面，柔性介质（4）覆盖并粘结于应变计（2）和柔性传输线（3）的上表面。

2.根据权利要求1所述的接触应力传感器，其特征在于：所述支撑底座上（1）的通孔（11）的截面形状为圆形、正方形或矩形。

3.根据权利要求1或2所述的接触应力传感器，其特征在于：所述柔性传输线（3）为平面传输线。

4.根据权利要求3所述的接触应力传感器，其特征在于：所述柔性传输线（3）的柔性基底的材质为薄膜级聚酰亚胺。

5.根据权利要求1所述的接触应力传感器，其特征在于：所述柔性支撑底座（1）的材质为弹性模量在500MPa～4GPa之间的弹性材料。

6.根据权利要求5所述的接触应力传感器，其特征在于：所述柔性支撑底座（1）的材质为聚酰亚胺。

7.根据权利要求1所述的接触应力传感器，其特征在于：所述柔性介质（4）的材质为弹性模量在1MPa～50MPa之间的弹性材料。

8.根据权利要求7所述的接触应力传感器，其特征在于：所述柔性介质（4）的材质为橡胶。

9.根据权利要求1所述的接触应力传感器，其特征在于：所述柔性介质（4）与连接为一体的应变计（2）和柔性传输线（3）之间、连接为一体的应变计（2）和柔性传输线（3）与柔性支撑底座（1）之间均通过AB胶粘结。