[发明专利]基板处理系统

权利要求书

1.一种基板处理系统，其特征在于：用于对基板进行热处理，所述基板处理系统包括：多个处理室，对基板进行热处理；输送机械手，一次仅输送一个基板；搬入部，容纳要搬入所述处理室的未处理基板；搬出部，容纳从所述处理室搬出后的基板；以及控制部，控制所述处理室和所述输送机械手，

所述处理室具有：多层架，能够把基板支承在各层上；以及门，在搬入和搬出基板时对应于多层架的所希望的层能够打开或关闭，

所述控制部控制所述输送机械手和所述门的动作，把搬入到一个处理室内后经过了规定时间的基板通过所述输送机械手，从该一个处理室搬出并将搬出的基板存放在所述搬出部，接着使所述输送机械手移动到所述搬入部并握持未处理基板，把未处理基板搬入到该一个处理室内，然后，把搬入到另一个处理室内后经过了规定时间的基板通过所述输送机械手，从该另一个处理室搬出并存放于所述搬出部，接着使所述输送机械手移动到所述搬入部并握持未处理基板，把未处理基板搬入到该另一个处理室内，在所述输送机械手从所述处理室离开期间使所述门关闭，并且通过以后对所述多个处理室也顺次继续这样的动作，来对所述多个处理室内的支承在所述多层架上的所有基板进行规定时间的热处理。

2.一种基板处理系统，其特征在于：用于对基板进行热处理，所述基板处理系统包括：多个处理室，对基板进行热处理；输送机械手，一次输送至少两个基板；搬入部，容纳要搬入所述处理室的未处理基板；搬出部，容纳从所述处理室搬出后的基板；以及控制部，控制所述处理室和所述输送机械手，

所述处理室具有：多层架，能够把基板支承在各层上；以及门，在搬入和搬出基板时对应于多层架的所希望的层能够打开或关闭，

所述控制部控制所述输送机械手和所述门的动作，在所述搬入部使所述输送机械手握持至少一个未处理基板，把搬入到一个处理室内后经过了规定时间的基板通过所述输送机械手，从该一个处理室搬出，并将所述输送机械手握持的未处理基板搬入到该一个处理室内，接着把从该一个处理室搬出的基板存放于所述搬出部，在所述搬入部使所述输送机械手握持至少一个未处理基板，把搬入到另一个处理室内后经过了规定时间的基板通过所述输送机械手，从该另一个处理室搬出，并把所述输送机械手握持的未处理基板搬入到该另一个处理室内，接着把从该另一个处理室搬出的基板存放到所述搬出部，在所述搬入部使所述机械手握持至少一个未处理基板，通过以后对所述多个处理室也顺次继续这样的动作，来对所述多个处理室内的支承在所述多层架上的所有基板进行规定时间的热处理。