[发明专利]一种基板清洗装置

权利要求书

1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：

内部具有清洗室的壳体；

枢装于所述壳体、且沿基板移动方向并排分布的多个喷淋管道，每一个所述喷淋管道具有将所述喷淋管道内的液体导向基板被清洁面的若干个喷液口，每一个所述喷淋管道的一端具有与其同轴固定的传动齿轮；

通过所述传动齿轮驱动所述喷淋管道同频率往复转动的驱动系统，其中一部分所述喷淋管道的往复转动方向与另一部分所述喷淋管道的往复转动方向相反。

2.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，往复转动方向相反的两部分所述喷淋管道的数量相同。

3.根据权利要求2所述的基板清洗装置，其特征在于，所述驱动系统包括：

安装于所述壳体的驱动电机；

驱动多个所述传动齿轮轴向往复转动的传动机构，所述传动机构的动力输入端与所述驱动电机的输出轴传动连接。

4.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，所述传动机构包括：

与所述驱动电机的输出轴同轴固定的主动轮；

一端与所述主动轮铰接的连杆；

与所述连杆另一端铰接的过渡齿轮，所述主动轮、连杆以及过渡齿轮形成四连杆机构；

与多个所述传动齿轮、过渡齿轮连接的传送皮带；

至少一个用于张紧所述传送皮带的张紧轮。

5.根据权利要求4所述的基板清洗装置，其特征在于，多个所述传动齿轮形成依次相邻的若干个齿轮组，任意相邻的两个所述齿轮组的所述传动齿轮上的传送皮带绕向相反。

6.根据权利要求5所述的基板清洗装置，其特征在于，每一个所述齿轮组包括至少一个所述传动齿轮。

7.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，多个所述传动齿轮形成若干个分别具有两个相互啮合的所述传动齿轮的齿轮组；

所述传动机构包括形成曲柄滑块机构的主动轮、连杆、滑轨和推杆，以及连接所述推杆和每一个所述齿轮组中的一个传动齿轮、将所述推杆的直线运动转换为所述传动齿轮的周向运动的转换机构：其中，

所述主动轮与所述驱动电机的输出轴同轴固定；

所述连杆的一端与所述主动轮铰接，另一端与所述推杆的一端铰接；

所述滑轨与所述壳体相对固定、且沿基板移动方向延伸；

所述推杆滑动装配于所述滑轨。

8.根据权利要求3所述的基板清洗装置，其特征在于，多个所述传动齿轮形成若干个分别具有两个相互啮合的所述传动齿轮的齿轮组；

所述传动机构包括形成凸轮连杆机构的凸轮、滑轨和推杆，以及连接所述推杆和每一个所述齿轮组中的一个传动齿轮、将所述推杆的直线运动转换为所述传动齿轮的周向运动的转换机构；其中：

所述凸轮安装于所述驱动电机的输出轴；

所述滑轨与所述壳体相对固定、且沿基板移动方向延伸；

所述推杆与所述滑轨配合滑动，且所述推杆的一端配合安装于所述凸轮。

9.根据权利要求7或8所述的基板清洗装置，其特征在于，所述转换机构包括：

所述推杆具有的垂直于基板的滑槽；

一端固定于所述齿轮组中的一个所述传动齿轮，另一端伸入所述滑槽的滑杆。

10.根据权利要求7或8所述的基板清洗装置，其特征在于，所述转换机构包括：

设置于所述推杆朝向所述传动齿轮的一侧、与每一个所述齿轮组中的一个所述传动齿轮啮合的齿条。

11.根据权利要求1所述的基板清洗装置，其特征在于，每一个所述喷淋管道上间隔设置若干个喷嘴，形成所述喷液口。