[发明专利]绝缘检查方法及绝缘检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种形成有多个配线图案的基板的绝缘检查方法及其绝缘检查装置，尤其涉及一种不受介于触头与配线图案之间的接触电阻的影响而能够检测准确的火花不良的绝缘检查方法及绝缘检查装置。

背景技术

以往，具有多个配线图案的基板的绝缘检查是通过进行配线图案间的绝缘状态是否良好（是否确保充分的绝缘性）的判定来判定该基板为合格品还是不良品。

在这种绝缘检查装置中，通过对成为检查对象的两个配线图案间施加比较高的电压（例如200V）来计算配线图案间的电阻值，并根据该电阻值判定绝缘状态是否良好。

本发明人提出例如专利文献1中记载的绝缘检查装置作为这种绝缘检查装置。在该绝缘检查装置中，即使在绝缘检查中在配线图案之间产生花火（放电），也能够检测该火花而准确地检测出配线图案间的不良。

然而，随着基板的微细化以及复杂化，配线图案本身也越来越微细化和复杂化，因而进行配线图案间的绝缘状态是否良好的判定也变得困难。例如，在专利文献1的绝缘检查方法中，使提供用于实施绝缘检查的电压施加的电压源2和用于检测火花的电压表3通过共用的探针而与配线图案导通接触。因此，产生探针与配线图案间的接触电阻，且存在由于该接触电阻而无法准确地检测配线图案间的电压的情况。

更具体而言，如上所述，通过探针提供配线图案间的检查电压，但是在提供检查电压的过程中对接触电阻也施加该检查电压，接触电阻值受该影响而发生变化。因此，存在如下问题，即接触电阻值在提供检查电压前和提供检查电压时不同，而电压表测定出其变化，尤其在接触电阻值变小的情况下检测出与火花相同的电压变化，因而导致判断为伪不良。

专利文献1：日本专利第3546046号

发明内容

发明所要解决的课题

如上所述，希望提出一种在进行配线图案间的绝缘检查时准确地检测出火花不良而不会检测出伪火花的基板检查方法及基板检查装置。

用于解决课题的手段

本申请例示的第一发明所涉及的绝缘检查装置通过压接于预先设定在配线图案上的检查点的导电性触头进行电信号的发送和接收，从而进行具有多个配线图案的基板的绝缘检查，其特征在于，所述绝缘检查装置具备：选出装置，其从所述多个配线图案中选出成为检查对象的一个配线图案作为第一检查部，并且并列配置成为除该第一检查部以外的检查对象的所有配线图案且作为第二检查部选出；电源单元，其为了在所述第一检查部与所述第二检查部之间设定规定的电位差，其一个端子通过触头与所述第一检查部导通连接，并且，另一个端子通过触头与所述第二检查部导通连接；电压检测单元，其为了测定所述第一检查部与所述第二检查部之间的电压值，其一个端子通过触头与所述第一检查部导通连接，并且，另一个端子通过触头与所述第二检查部导通连接；以及判定单元，其根据所述电压检测装置的检测结果判定所述第一检查部与所述第二检查部之间的绝缘状态是否良好，其中，与所述电源装置的一个端子导通连接的触头和与所述电压检测装置的一个端子导通连接的触头为不同的触头。

本申请例示的第二发明提供一种绝缘检查装置，其在第一发明所涉及的绝缘检查装置的基础上，利用与所述电源装置的一个端子导通连接的触头和与所述电压检测装置的一个端子导通连接的触头实施所述第一检查部的导通检查。

本申请例示的第三发明提供一种绝缘检查方法，其通过压接于预先

设定在配线图案上的检查点的导电性触头进行电信号的发送和接收，从而进行形成有多个配线图案的基板的绝缘检查，其特征在于，从所述多个配线图案中选出成为检查对象的一个配线图案作为第一检查部，并且，选出成为除该第一检查部以外的检查对象的所有配线图案作为第二检查部，为了对所述第一检查部与所述第二检查部之间提供用于进行绝缘检查的电力，通过与所述第一检查部连接的触头提供该电力，为了检测所述第一检查部与所述第二检查部之间的电压，通过与所述第一检查部连接且与用于提供所述电力的触头不同的触头检测该电压，并根据所述电压的检测结果判定所述第一检查部与所述第二检查部间的绝缘状态。

发明效果

根据本申请例示的第一发明及第三发明，利用用于第一检查部与第二检查部之间的绝缘检查的提供电源用触头和与电压测定用触头不同的触头实施第一检查部与第二检查部间的绝缘状态的检查，因此，能够不受配线图案与触头间的接触电阻的影响而实施绝缘检查。因此，在为了进行绝缘检查而对检查对象之间施加检查电压，并且接触电阻值相应于该检查电压的变化而发生变化的情况下，也不会对测定系统的电压检测单元产生影响，能够准确地检测出电压的变化。