[发明专利]二维可调温控束源装置

权利要求书

1.一种二维可调温控束源装置，其特征在于：

包括上下依次连接的加热部分（10）、连接部分（20）和调节部分（30）；

加热部分（10）通过螺丝固定在连接部分（20）中的不锈钢支架（21）之上，可以方便地拆卸和更换；

调节部分（30）通过滑块（32）与连接部分（20）中的不锈钢支柱（26）紧密接触，利用千分尺旋钮（31）实现调节。

2.按权利要求1所述的一种二维可调温控束源装置，其特征在于：

所述的加热装置（10）包括第1热量防护罩（11）、不锈钢圆盖（12）、坩埚（13）、加热丝（14）、第2热量防护罩（15）、热偶探头（16）、加热导线（17）和聚四氟乙烯细管（18）；

其连接关系是：

在坩埚（13）的顶部盖有不锈钢圆盖（12），在坩埚（13）的外壁包裹有加热丝（14），第2热量防护罩（15）位于加热丝（14）外侧，在第2热量防护罩（15）的上部盖有第1热量防护罩（11），热偶探头（16）置于坩埚（13）的底部，加热丝（14）和加热导线（17）连接，加热导线（17）穿过聚四氟乙烯细管（18）与连接部分（20）中的金属连接头（25）相连接。

3.按权利要求1所述的一种二维可调温控束源装置，其特征在于：

所述的连接部分（20）包括不锈钢支架（21）、不锈钢底座（22）、CF法兰（23）、波纹管（24）、金属连接头（25）和不锈钢支柱（26）；

其连接关系是：

不锈钢支架（21）、不锈钢底座（22）和不锈钢支柱（26）上下依次连接构成一个整体；

不锈钢底座（22）、波纹管（24）和CF法兰（23）上下依次连接，保证腔体真空的密封性。

4.按权利要求1所述的一种二维可调温控束源装置，其特征在于：

所述的调节部分（30）包括千分尺旋钮（31）和滑块（32）；

其连接关系是：

在CF法兰（23）下方四周的X方向与Y方向分别对称设置有四个千分尺旋钮（31），四个千分尺旋钮（31）分别与位于法兰中部下方的四个滑块（32）相连接。