[发明专利]一种仿生柔性干电极及其制作方法

权利要求书

1.一种仿生柔性干电极，其特征在于：所述仿生柔性干电极包括导电仿生电极片和外部接口；所述导电仿生电极片表面具有仿壁虎的刚毛结构。

2.根据权利要求1所述的仿生柔性干电极，其特征在于：所述导电仿生电极片为三级结构，第一级高度为10微米-100微米，第二级高度为1微米-50微米。

3.一种仿生柔性干电极的制作方法，包括用导电胶将外部接口粘在导电仿生电极片上的步骤，其特征在于：所述导电仿生电极片的第一级和第二级通过微倒模的工艺制备，用聚二甲基硅氧烷PDMS制备一个具有两级结构的PDMS模具，将聚二甲基硅氧烷PDMS和碳纳米管CNT的混合物CPDMS填入模具，待混合物CPDMS固化后，取下混合物CPDMS制备的具有两级结构的薄膜，然后通过inking技术，在两级结构的薄膜的第二级上形成第三级结构。

4.根据权利要求3所述的仿生柔性干电极的制作方法，其制作步骤如下：

所述两级结构的PDMS模具制备：

1）以硅片为基底，用氧等离子清洗硅片；

2）用CVD的方法在硅片上形成氧化层；

3）硅片上旋涂正型光刻胶，曝光，显影，图形化光刻胶层；

4）用反应离子刻蚀硅片上未覆盖光刻胶的地方形成两级结构的底部；

5）清洗掉硅片上的剩余的光刻胶；

6）硅片上旋涂正型光刻胶，曝光，显影，图形化光刻胶层；

7）用深反应离子刻蚀DRIE刻蚀硅片上未覆盖光刻胶的地方形成两级结构的顶部；

8）清洗掉硅片上的剩余的光刻胶；

9）聚二甲基硅氧烷PDMS和固化剂用10:1的比例混合，抽真空，去除气泡然后旋涂在硅片上；

10）固化聚二甲基硅氧烷PDMS；

11）固化的聚二甲基硅氧烷PDMS从硅片上取下来，形成有两级结构的模具；

所述具有两级结构的混合物CPDMS薄膜的制备：

12）将混合物CPDMS，加入固化剂，然后填入两级结构的PDMS模具中；

13）抽真空，固化混合物CPDMS，从两级结构的PDMS模具上取下混合物CPDMS；

第三级结构的制备：

14）在玻璃片上旋涂混合物CPDMS；

15）将具有两级结构的混合物CPDMS薄膜轻轻与旋涂有混合物CPDMS的玻璃片接触几秒钟后，用另一片玻璃片压混合物CPDMS，拿开玻璃片，固化，形成三级结构的第三级。