[发明专利]校正装置、传感器和方法

权利要求书

1.用于传感器（10）、尤其是具有运动栅电极（20）的加速度传感器的校正装置（1），

具有至少一个电流测量装置（2）；

具有可调电压源（3），该电压源与该传感器（10）的传感器元件电气耦合；

具有控制装置（4），该控制装置被构造用于调节该电压源（3），使得在该传感器元件上的电压（5）具有至少三个不同的电压值，其中该电流测量装置（2）被构造用于在借助该可调电压源（3）所调节的每个电压时测量流过该传感器元件的测量电流（6）和/或相应传感器元件的基本电流（6）；以及

具有补偿装置（7），该补偿装置被构造用于基于所测量的电流（6）和对应调节的电压（5）来确定该传感器（10）的敏感性和/或偏移和/或漂移，并对应于所确定的敏感性和/或所确定的偏移来匹配该传感器（10）的输出信号。

2.根据权利要求1所述的校正装置，

其中该控制装置（4）被构造用于调节该电压源（3），使得在该传感器元件上的电压（5）至少或者是零伏的电压（5）、负的电压（5）、对应于该传感器元件的工作点的电压（5）、位于该传感器元件的工作点上方的电压（5）、或者是在零伏与对应于每个传感器元件的工作点的电压之间的电压（5）。

3.根据前述权利要求之一所述的校正装置，

其中该补偿装置（7）还被构造用于基于所测量的电流（6）和对应调节的电压（5）来确定该传感器（10）的工作点偏移。

4.传感器、尤其是加速度传感器，

具有至少一个场效应晶体管（11），尤其是具有包括运动栅电极（20）的第一场效应晶体管（11），

具有用于每个场效应晶体管（11）的第一电流源（12），该第一电流源提供相应场效应晶体管（11）的基本电流（6），

具有用于每个场效应晶体管（11）的第二电流源（13），该第二电流源为相应场效应晶体管（11）提供测量电流（6）；

具有根据权利要求1-3至少之一所述的校正装置（1）。

5.根据权利要求4所述的传感器，

其中该传感器（10）具有至少一个第一场效应晶体管（11）和第二场效应晶体管（11），其中该第一场效应晶体管（11）在第一垂直方向上加速时生成正的偏转，并且该第二传感器（10）在该第一垂直方向上加速时生成负的偏转，和/或其中该第一场效应晶体管（11）在第一水平方向上加速时生成正的偏转，并且该第二传感器（10）在该第一水平方向上加速时生成负的偏转。

6.根据前述权利要求4和5之一所述的传感器，

其中该第一电流源（12）和/或该第二电流源（13）作为电流反射镜来构造；

其中该第一电流源（12）具有恒定电流调节器，该恒定电流调节器被构造用于把该基本电流（6）调节为恒定值；

和/或

其中该第二电流源（13）的调节输入端与该场效应晶体管（11）相耦合，使得在该场效应晶体管（11）的沟道中的电阻波动引起该第二电流源（13）的输出电流的电流变化。

7.根据前述权利要求4-6之一所述的传感器，

其中该传感器（10）作为微机电系统来构造。

8.尤其借助根据权利要求1-3之一所述的校正装置来校正传感器（10）的方法，具有以下步骤：

调节（S1）在该传感器（10）的测量元件上的电压，使得在该传感器元件上的该电压（5）具有至少三个不同的电压值；

在借助该可调电压源（3）所调节的每个电压（5）时检测（S2）流过该传感器元件（11）的测量电流（6）和/或相应传感器元件（11）的基本电流（6）；以及

基于所检测的电流（6）和对应调节的电压（5）来确定（S3）该传感器（10）的敏感性和/或偏移；

对应于所确定的敏感性和/或所确定的偏移来匹配（S4）该传感器（10）的输出信号。

9.根据权利要求8所述的方法，

其中在该传感器元件上的电压（5）被调节为，使得该电压（5）至少或者是零伏的电压（5）、负的电压（5）、对应于该传感器元件的工作点的电压（5）、位于该传感器元件的工作点上方的电压（5），或者是在零伏与对应于每个传感器元件的工作点的电压之间的电压（5）。

10.根据权利要求8或9之一所述的方法，

其中还基于所测量的电流（6）和对应调节的电压（5）来确定该传感器（10）的工作点偏移。