[发明专利]振动片、振子、电子装置、电子设备、移动体

说明书

技术领域

本发明涉及一种振动片、振子、电子装置、电子设备、以及移动体。

背景技术

随着电子设备的小型化，从而要求使用于电子设备中的振子的小型化。为了在保持高精度的同时实现小型化，从而作为振子的主要要素、即振动片而使用双音叉振动片。在这种双音叉振动片中，已知有如下的振动片，即，通过缩减对两根振动臂的两端部进行连接的连接部和对双音叉振动片进行固定的基部之间的截面面积，来抑制振动臂部的振动传递至作为双音叉振动片的固定部的基部的、所谓的振动泄漏，从而即使小型化也欲维持精度的振动片（例如，参照专利文献1）。

虽然在上述专利文献1中，通过抑制振动臂部的振动传递至基部的情况而提高了精度，但为了高精度地对振动片的频率进行管理，必须高精度地形成振动片的形状。虽然作为振动片的形成方法，一般使用蚀刻加工或光刻加工，但这些形成方法的加工精度是有极限的，从而存在如下课题，即，由于形状的偏差而无法获得作为目标的频率精度。

专利文献1：日本特开昭64-29110号公报

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的发明，且能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的振动片的特征在于，具备：第一振动臂部和第二振动臂部，其具有驱动电极；第一基部和第二基部，所述第一基部连接所述第一振动臂部与所述第二振动臂部的一侧端部，所述第二基部连接所述第一振动臂部与所述第二振动臂部的另一侧端部；锤膜，其被设置在所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上。

由于这种振动片由通过第一基部而连接了第一振动臂部与第二振动臂部的音叉、和通过第二基部而连接了第一振动臂部和第二振动臂部的音叉构成了两组音叉，因此也被称之为双音叉型振动片。

根据本应用例，由于在第一振动臂部和第二振动臂部上分别形成有锤膜，并且当去除该锤膜的一部分时，将能够对振动片的振动频率进行调节，因此能够高精度地对由形状偏差而引起的、频率的偏差进行调节。

应用例2

在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述锤膜由金属膜构成，所述驱动电极和所述锤膜并不重叠，而是被配置在相互独立的位置处。

通过采用此种方式，即使在驱动电极和锤膜之间未形成有绝缘膜，也能够防止锤膜和驱动电极之间的短路。此外，例如在用比重较大的金属膜来形成锤膜时，将能够以较小的面积来确保所必要的质量，由此能够扩大驱动电极的面积，从而能够提高激励效率。

应用例3

在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述驱动电极被配置在，于所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上产生的变形最大的位置处。

在振动片由压电材料构成的情况下，电流在驱动电极中流动从而电荷移动，由此产生变形，而且第一振动臂部及第二振动臂部进行伸缩。因此，如果将驱动电极配置在变形最大的位置处，则能够提高激励效率。此外，如上文所述，由于锤膜配置在不与驱动电极交叉的位置处，因此不会由于附加锤膜而使激励效率降低。

另外，由于变形最大的位置为，第一振动臂部及第二振动臂部各自的、靠近第一基部及第二基部的根部，因此驱动电极至少被配置在第一振动臂部及第二振动臂部的根部处。

应用例4

在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述锤膜至少被配置在，于所述第一振动臂部与所述第二振动臂部上产生的变形最小的位置处。

如此，当将锤膜配置在变形较小的位置、即产生电荷量较小的位置处时，能够在抑制由于附加锤膜而引起的产生电荷量的降低的同时，高效地实施频率调节。

应用例5

在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述锤膜被配置于，所述第一振动臂部及所述第二振动臂部的、与长度方向中央部相比靠所述第一基部侧的位置处，和与所述长度方向中央部相比靠所述第二基部侧的位置处。

虽然详细内容将在下文叙述的实施方式中进行说明，但在靠近第一基部及第二基部的位置中，存在如下的位置，即，在第一振动臂部及第二振动臂部进行振动时变形最小的位置。因此，当将锤膜配置在这些位置处时，能够在使由于附加锤膜而引起的、对产生电荷量的影响为最小的同时，有效地实施频率调节。

此外，在这种结构中，可以将驱动电极配置在第一振动臂部及第二振动臂部的根部处，并且还配置在长度方向中央部处，从而能够进一步提高激励效率。

应用例6

在上述应用例所涉及的振动片中，优选为，所述锤膜被配置在，所述第一振动臂部以及所述第二振动臂部的长度方向中央部处。