[发明专利]真空状态下高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的装置及方法

权利要求书

1.真空状态下高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的装置，其特征在于：在待钎焊的黄铜波导管的待钎焊管壁区域设置钎焊焊料，并将水冷板固定在黄铜波导管待钎焊管壁区域构成工件，由水冷板与黄铜波导管共同夹持钎焊焊料，设置一个真空容器，将工件整体置于真空容器内；

所述真空容器中设置有多段环绕工件的加热元件，加热元件与工件接近但不接触，各段加热元件与对应位置的真空容器内壁之间分别设置有多层屏蔽组件，真空容器器壁上对应每个多层屏蔽组件位置分别设置有与真空容器内连通的电极安装管对，电极安装管对中每个电极安装管的管口处分别密封安装有水冷电极法兰，水冷电极法兰中分别安装水冷电极，且水冷电极与水冷电极法兰之间超高真空密封且绝缘，电极安装管对中每个电极安装管与真空容器结合处分别设置有电极连接件，水冷电极与电极连接件连接，各段加热元件连接电源端分别穿过各自对应位置的多层屏蔽组件并相互不接触，且各段加热元件两接电源端分别电连接在各自对应位置的两电极连接件上，各段加热元件两接电源端分别通过电极连接件、水冷电极与真空容器外的加热电源电连接；

在真空容器内的工件上需测温的多个位置分别安装温度传感器，所述真空容器一端设为容器口，且容器口处密封安装有前法兰，前法兰中密封安装有多个测量电极组件，所述温度传感器分别通过测量线与测量电极组件一一对应连接，在真空容器外设置一个温控器，测量电极组件分别接入真空容器外的温控器输入端，温控器输出端与各段加热元件两接电源端分别连接形成电回路；

所述真空容器的器壁上还设置至少一个与真空容器内连通的真空测量管口，以及至少一个与真空容器内连通的真空获得管口，真空测量管口接入真空测量元件，真空获得管口接入真空获得装置，

所述真空容器的器壁上还设置有一个与真空容器内连通标准法兰接口，接口上安装有高真空手动隔断阀，抽真空和钎焊时阀门密封关闭，阀门另一口连接真空泄漏检测仪或高纯氮气瓶，阀门在真空泄漏检测或充入氮气时打开。

2.根据权利要求1所述的真空状态下高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的装置，其特征在于：所述加热元件为加热丝，优选钨丝。

3.根据权利要求1所述的真空状态下高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的装置，其特征在于：所述加热元件为硅钼棒，或者是硅碳棒，或者是碳化硅，或者是红外辐射加热管。

4.根据权利要求1所述的真空状态下高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的装置，其特征在于：所述多层屏蔽组件由高熔点表面高反射率的金属制成，优选金属钽材料。

5.根据权利要求1所述的真空状态下高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的装置，其特征在于：所述电极连接件由主体、盖板构成，主体与水冷电极电连接，且主体内设置有与水冷电极连通的水道，主体与盖板之间设有安装加热元件接电源端的安装槽。

6.根据权利要求1所述的真空状态下高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的装置，其特征在于：所述水冷电极法兰与各自对应的电极安装管管口之间设置有无氧铜超高真空密封垫圈。

7.根据权利要求1所述的真空状态下高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的装置，其特征在于：多个测量电极组件之间相互绝缘。

8.根据权利要求1所述的真空状态下高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的装置，其特征在于：所述温度传感器为箔片式传感器。

9.一种基于权利要求1所述装置的高贴合率钎焊黄铜波导管、水冷板的方法，其特征在于：包括以下步骤：

（1）启动真空获得装置，使真空容器内部压强小于1×10^-2Pa，通过真空测量元件测量真空容器内部压强；

（2）当真空测量元件测得真空容器内部压强小于1×10^-2Pa后，启动温控器，设定温度控制范围，温度控制范围中最低温高于钎焊焊料熔点，温度控制范围中最高温度比最低温度高20℃；

（3）启动加热元件的加热电源，利用加热元件开始加热真空容器内部；

（4）通过温控仪控制加热温度在设定的温度控制范围内，设定加热时间为4小时，4小时自动断开加热电源；

（5）加热至4小时后，加热电源自动断开，随炉冷却3小时；

（6）随路冷却3小时后，关闭真空获得设备，连接高真空手动隔断阀的出口到高纯氮气瓶上，打开阀门，向真空容器内充入高纯氮气，氮气纯度99.99%，充至内部压强为一个大气压为止；

（7）充入高纯氮气至真空容器内压强达到一个大气压后，即可完成钎焊工作，取下真空容器前法兰，从真空容器中取出钎焊后的黄铜波导管与水冷板，并从工件上卸下温度传感器。