[发明专利]基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及从下方支承基板的宽度方向的两端部将其输送到规定的作业位置的基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法。

背景技术

在如零件安装机及丝网印刷机那样地相对于基板进行零件的安装作业的零件安装用装置中具备用于输送基板的基板输送装置。作为该基板输送装置，公知有如下的构成，即，具备：从下方支承基板的两端并对其进行输送的一对输送传送带；在由该一对输送传送带输送到规定的位置的基板的下方进行升降的升降部件；设于该升降部件并通过该升降部件的上升而从下方与基板的下面中央部抵接并进行支承的基板中央部支承部件；配置于升降部件的上方并在基板中央部支承部件与基板抵接时上端从下方抵接支承基板的两端部的板状的一对基板端部支承部件（例如专利文献1）。

一对输送传送带中的至少一个安装于在与基板输送方向垂直的方向上自如移动的可动传送带支承部件，通过使可动传送带支承部件对应于基板大小向配置另一传送带支承部件的方向（称为“横宽接近方向”）移动，对两输送传送带间的距离进行调整。另外，在传送带支承部件上，除了输送传送带之外，还安装有上述的基板端部支承部件。

升降部件的上方成为可动传送带支承部件的移动路径，由于若在该移动路径上的升降部件的上面附着有异物，则会阻碍可动传送带支承部件的移动，因此，将用于检测附着于可动传送带支承部件的移动路径上的升降部件的上面的异物的检测传感器固定设于该可动传送带支承部件。作为该检测传感器，由投射检查光的投影器及接受该检查光的受光器构成，在向横向动作时，从投影器向基板输送方向投射检查光，根据该检查光是否被遮断而进行在升降部件的上面是否附着有异物的判断。

专利文献1：（日本）特开2010－188645号公报

如上所述，在需要检测附着于可动传送带支承部件的移动路径上的升降部件的上面的异物的基础上，检测传感器需要安装于比基板端部支承部件更靠横宽接近方向侧（即配置基板中央部支承部件的一侧）的位置。另外，由于在根据基板大小进行基板中央部支承部件及基板端部支承部件对基板的支承时，上述两部件的距离会变小，故而需要使检测传感器尽量与基板端部支承部件邻接而进行安装。因此，会产生如下问题，即，在基板端部支承部件产生翘曲变形的情况下，检查光被该基板端部支承部件遮断而无法到达受光器，将基板端部支承部件误检测为附着在升降部件的上面的异物。

发明内容

因此，本发明的目的在于提供一种基板输送装置及基板输送装置中的异物检测方法，能够抑制由基板端部支承部件引起的检测传感器的误检测。