[发明专利]一种具有单面引线结构的压电激励器及其制作方法

权利要求书

1.一种具有单面引线结构的压电激励器，依次包括上电极、压电片（6）和下电极（8）；上电极与待驱动物体粘接，其特征在于：所述上电极被隔离槽分割为相互独立的工作上电极（4）和引线下电极（10）；引线下电极（10）与下电极（8）通过涂敷的银浆（11）导通；通过焊接在工作上电极（4）上的上电极引线（5）为工作上电极（4）加载电压，通过焊接在引线下电极（10）上的下电极引线（9）为下电极（10）加载电压。

2.一种如权利要求1所述的具有单面引线结构的压电激励器，其特征在于：所述上电极上的隔离槽被压电片（6）密封。

3.一种如权利要求1所述的具有单面引线结构的压电激励器，其特征在于：所述压电片（6）的外形轮廓包含于上电极之内，下电极（8）的外形轮廓包含于压电片（6）之内。

4.一种如权利要求1所述的具有单面引线结构的压电激励器，其特征在于：所述压电激励器水平截面形状是正方形、矩形或圆形。

5.一种如权利要求1所述的具有单面引线结构的压电激励器，其特征在于：所述上、下电极材料是银，铂或其它金属。

6.一种如权利要求1所述的具有单面引线结构的压电激励器，其特征在于：所述电极引线材料是铝、金、铜或者其它金属。

7.一种如权利要求1-6之一的具有单面引线结构的压电激励器的制备方法，包括如下步骤：

步骤1：在压电片（6）的上电极刻蚀出隔离槽，将上电极分割为相互独立的工作上电极（4）和引线下电极（10）；

步骤2：将上电极与包含待驱动结构的物体粘接在一起；

步骤3；减薄压电片（6）；

步骤4；在压电片的下表面沉积下电极（8）；

步骤5；图形化下电极（8）和压电片（6）；

步骤6；将引线下电极（10）和下电极8通过涂敷的银浆（11）导通；

步骤7；将粘接后得到的整体器件上的重复单元分割成小片；

步骤8：将上电极引线（5）焊接在工作上电极（4）上，将下电极引线（9）焊接在引线下电极（10）上。