[发明专利]一种单晶硅切削液无效
| 申请号: | 201310284909.X | 申请日: | 2013-07-09 |
| 公开(公告)号: | CN103305326A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
| 发明(设计)人: | 冯志强 | 申请(专利权)人: | 金陵科技学院 |
| 主分类号: | C10M169/04 | 分类号: | C10M169/04;C10N30/04;C10N30/06;C10N30/16;C10N40/00 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 211169 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 切削 | ||
【权利要求书】:
1.一种单晶硅切削液,其特征在于:含有以下重量百分比的组分:二乙二醇:70-80%、甘油:10-20%、PEG400:5-10%、三乙醇胺:0.005-0.015%、液态苯并三氮唑:0.01-0.03%。
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