[发明专利]具有布拉格反射层的倒装芯片发光二级管及其制备方法在审
申请号: | 201310280172.4 | 申请日: | 2013-07-05 |
公开(公告)号: | CN104282816A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 王冬雷;庄灿阳;朱国栋 | 申请(专利权)人: | 大连徳豪光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L33/46 | 分类号: | H01L33/46;H01L33/38 |
代理公司: | 广东秉德律师事务所 44291 | 代理人: | 杨焕军 |
地址: | 116100 辽宁省大*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 布拉格 反射层 倒装 芯片 发光 二级 及其 制备 方法 | ||
1.具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管,包括:
衬底材料;
形成于所述衬底材料上的N型层、发光层和P型层;
形成于所述N型层上的N电极;
其特征在于:
所述P型层上形成有多个分散设置的P电极;
在所述P型层表面设置布拉格反射层,所述P电极凸出于所述布拉格反射层并在所述布拉格反射层表面形成凸点。
2.如权利要求1所述的具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管,其特征在于:所述P电极呈同心圆环阵列形式排列。
3.如权利要求2所述的具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管,其特征在于:所述N电极位于所述芯片的几何中心。
4.如权利要求1所述的具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管,其特征在于:所述P电极呈矩阵形式排列。
5.如权利要求4所述的具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管,其特征在于:所述N型层上形成有4个分散设置的N电极,所述4个N电极分别位于所述芯片的四个角位置。
6.如权利要求1所述的具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管,其特征在于:还包括用于连接所述多点设置的P电极的电极连接层,所述电极连接层位于所述布拉格反射层表面。
7.如权利要求6所述的具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管,其特征在于:所述电极连接层为金属连接层。
8.如权利要求6所述的具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管,其特征在于:所述电极连接层为封装基板线路层。
9.如权利要求7所述的具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管,其特征在于:还包括位于所述P电极和N电极之间的绝缘层,形成P、N双电极焊接结构。
10.一种具有布拉格反射层的倒装芯片发光二极管的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
制作外延片:在衬底材料上形成N型层、发光层和P型层;
制作电极:在P型层的多个位置制作欧姆接触材料,光刻出P电极图案,进行金属-半导体微合金工艺,经沉积、光刻后形成P电极,光刻工艺后P电极露出于P型层,且P电极多点分散设置于P型层上;刻除部分发光层,在N型层上制作欧姆接触材料,光刻出N电极图案,进行金属-半导体微合金工艺,经沉积、光刻后形成N电极,光刻工艺后N电极露出于N型层;
形成布拉格反射层:在P型层上进行布拉格反射层镀膜,通过光刻工艺使P电极露出于布拉格反射层并在布拉格反射层表面形成凸点;
封装固晶:外延片经过衬底材料研磨减薄工艺后,进行芯片切割、裂片、测试及分选,进入封装工艺。
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