[发明专利]压力控制装置、流量控制装置、压力控制方法及流量控制方法

权利要求书

1.一种压力控制装置，其特征在于，

所述压力控制装置包括：

压力传感器，测量流过流路的流体的压力；

压力控制阀，设置在所述流路上；以及

阀控制部，控制所述压力控制阀，使得由所述压力传感器测量出的测量压力值成为设定压力值，

所述阀控制部包括：

开度操作量输出部，根据测量压力值和设定压力值输出所述压力控制阀的开度操作量；以及

限制部，设定开度操作量的极限值，并且设定开度操作量的容许范围，当从所述开度操作量输出部输出的开度操作量是容许范围外的值时，以极限值的开度操作量控制所述压力控制阀，

所述限制部根据设定压力值设定开度操作量的极限值。

2.根据权利要求1所述的压力控制装置，其特征在于，

所述限制部设定上限值作为开度操作量的极限值，

当从所述开度操作量输出部输出的开度操作量为上限值以下时，以从所述开度操作量输出部输出的开度操作量控制所述压力控制阀。

3.根据权利要求2所述的压力控制装置，其特征在于，设定压力值越大，所述限制部将开度操作量的上限值设定得越大。

4.根据权利要求2所述的压力控制装置，其特征在于，所述限制部将与所需的流量值对应的开度操作量设定为上限值，所述所需的流量值用于从压力控制开始经过目标时间后使所述压力控制阀的下游的容积中的压力成为设定压力值。

5.一种压力控制方法，用于压力控制装置，所述压力控制装置包括：压力传感器，测量流过流路的流体的压力；以及压力控制阀，设置在所述流路上，

所述压力控制方法的特征在于，

所述压力控制方法包括阀控制步骤，所述阀控制步骤控制所述压力控制阀，使得由所述压力传感器测量出的测量压力值成为设定压力值，

所述阀控制步骤包括：

开度操作量输出步骤，根据测量压力值和设定压力值输出所述压力控制阀的开度操作量；以及

限制步骤，设定开度操作量的极限值，并且设定开度操作量的容许范围，当在所述开度操作量输出步骤中输出的开度操作量是容许范围外的值时，以极限值的开度操作量控制所述压力控制阀，

在所述限制步骤中，根据设定压力值设定开度操作量的极限值。

6.一种流量控制装置，其特征在于，

所述流量控制装置包括：

压力传感器，测量流过流路的流体的压力；

流量控制阀，设置在所述流路上；以及

阀控制部，控制所述流量控制阀，使得根据由所述压力传感器测量出的测量压力值计算出的测量流量值成为设定流量值，

所述阀控制部包括：

开度操作量输出部，根据测量流量值和设定流量值输出所述流量控制阀的开度操作量；以及

限制部，设定开度操作量的极限值，并且设定开度操作量的容许范围，当从所述开度操作量输出部输出的开度操作量是容许范围外的值时，以极限值的开度操作量控制所述流量控制阀，

所述限制部根据设定流量值设定开度操作量的极限值。

7.一种流量控制方法，用于流量控制装置，所述流量控制装置包括：压力传感器，测量流过流路的流体的压力，以及流量控制阀，设置在所述流路上，

所述流量控制方法的特征在于，

所述流量控制方法包括阀控制步骤，所述阀控制步骤控制所述流量控制阀，使得根据由所述压力传感器测量出的测量压力值计算出的测量流量值成为设定流量值，

所述阀控制步骤包括：

开度操作量输出步骤，根据测量流量值和设定流量值输出所述流量控制阀的开度操作量；以及

限制步骤，设定开度操作量的极限值，并且设定开度操作量的容许范围，当从所述开度操作量输出部输出的开度操作量是容许范围外的值时，以极限值的开度操作量控制所述流量控制阀，

在所述限制步骤中，根据设定流量值设定开度操作量的极限值。