[发明专利]坩埚材料量检测装置、方法及蒸镀机

权利要求书

1.一种坩埚材料量检测装置，其中，所述坩埚材料量检测装置包括：

称量模块，包括设置于坩埚底部的多个传感器，用于感测所述坩埚的重量；

运算模块，用于接收所述多个传感器传送的感测数据，计算所述坩埚内的剩余材料量；

控制模块，用于将所述运算模块计算所得的剩余材料量与设定的剩余材料量比较，当计算所得的剩余材料量小于设定的剩余材料量时，发出一控制指令。

2.如权利要求1所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述传感器为压电传感器。

3.如权利要求2所述的坩埚材料量检测装置，其中所述压电传感器为耐500度高温的压电传感器。

4.如权利要求2所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述压电传感器包覆有隔热材料。

5.如权利要求4所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述隔热材料为陶瓷。

6.如权利要求2所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述压电传感器采集数据的频率为1次/秒。

7.如权利要求2所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述压电传感器以多排多列的方式均匀分布于所述坩埚的底部。

8.如权利要求7所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述压电传感器两列七排共计14个。

9.如权利要求1所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述控制指令为停止加热的指令或发出警示信息的指令。

10.如权利要求1所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述运算模块包括：

数据接收单元，接收所述称量模块发来的所述感测数据；

加总单元，将所述数据接收单元获得的所述感测数据加总，以计算所述坩埚的重量，然后减去所述坩埚的自重，得到所述坩埚内的剩余材料量；

数值输出单元，将所述加总单元计算所得的剩余材料量传送给所述控制模块。

11.如权利要求10所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述数据接收单元与所述传感器通过有线或无线的方式连接。

12.如权利要求10所述的坩埚材料量检测装置，其中，所述控制模块包括：

数值接收单元，接收所述运算模块发来的剩余材料量数值；

比较单元，将所述剩余材料量数值与设定的剩余材料量比较，得到比较结果；

指令生成单元，接收所述比较单元传来的所述比较结果，如果剩余材料量数值小于设定的剩余材料量，则生成所述控制指令；

指令输出单元，将所述指令生成单元生成的所述控制指令输出。

13.一种蒸镀机，其特征在于，所述蒸镀机具有权利要求1-12任一所述的坩埚材料量检测装置。

14.一种坩埚材料量检测方法，其中，所述坩埚材料量检测方法包括步骤；

步骤S1：通过设置于坩埚底部的多个传感器采集所述坩埚重量的感测数据；

步骤S2：接收所述多个传感器传回的感测数据，计算所述坩埚内的剩余材料量；

步骤S3：将计算所得的剩余材料量与设定的剩余材料量比较，当计算所得的剩余材料量小于设定的剩余材料量时，发出一控制指令。

15.如权利要求14所述的坩埚材料量检测方法，其中，步骤S2中，将所述数据接收单元获得的所述感测数据加总，以计算所述坩埚的重量，然后减去所述坩埚自重，得到所述坩埚内的剩余材料量。