[发明专利]一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置

权利要求书

1.一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置，其特征在于：由轮廓仪测头（1）、轮廓仪测头微调机构（2）、横臂（3）、立柱（4）、配重（5）、横臂转台（6）、工件转台（7）和光学测头（8）组成；轮廓仪测头（1）和轮廓仪测头微调机构（2）固定在横臂（3）末端，轮廓仪测头微调机构（2）可实现X，Y，Z，俯仰和偏摆5个自由度的微调，立柱（4）和横臂（3）用于连接轮廓仪测头（1）和横臂转台（6），配重（5）用于平衡轮廓仪测头（1）、轮廓仪测头微调机构（2）和横臂（3）以保证横臂转台（6）平稳的旋转，光学测头（8）固定于工件转台（7）上绕轮廓仪测头（1）进行旋转运动，获得轮廓仪测头（1）的外轮廓数据，通过数据处理算法求出轮廓仪测头（1）的中心位置信息，通过调整轮廓仪测头微调机构（2）实现轮廓仪测头（1）与工件转台（7）的对心调整。

2.根据权利要求1所述的一种传感器旋转的摆臂式轮廓仪测头对心校准装置，其特征在于：所述的光学测头（8）为高精度非接触式测头，测头分辨力为10nm，测头量程1mm，测量精度为0.5μm。