[发明专利]一种太阳能硅片切割液在审
申请号: | 201310274468.5 | 申请日: | 2013-07-02 |
公开(公告)号: | CN104277890A | 公开(公告)日: | 2015-01-14 |
发明(设计)人: | 殷福华;邵勇;朱龙 | 申请(专利权)人: | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
主分类号: | C10M161/00 | 分类号: | C10M161/00;C10M129/06;C10M133/08;C10N40/00 |
代理公司: | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 曾少丽 |
地址: | 214000 江苏省无*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 切割 | ||
【权利要求书】:
1.一种太阳能硅片切割液,其特征在于,以重量份计,包括:
5份~40份的聚乙二醇;
1份~20份的脂肪醇;
1份~20份的三乙醇胺;以及
10份~20份的添加剂。
2.如权利要求1所述的太阳能硅片切割液,其特征在于,以重量份计,包括:
15份~30份的聚乙二醇;
5份~15份的脂肪醇;
5份~15份的三乙醇胺;以及
13份~17份的添加剂。
3.如权利要求1所述的太阳能硅片切割液,其特征在于,所述添加剂包括羧甲基纤维素络合物、微量偏硅酸钠、十二烷基硫酸钠、多元醇。
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