[发明专利]一种室温到800℃宽温域自润滑涂层的制备技术

权利要求书

1.一种室温到800℃宽温域自润滑涂层的制备技术，采用电弧离子镀的方法制备，其特征在于该方法涂层的沉积过程是在配有电弧的镀膜机的真空腔体内完成，具体步骤为：

A、活化清洗表面：将光滑、洁净的金属基底置于腔体之内，抽真空1.5×10^-2Pa以下，通入氩气作为离化气体，打开脉冲偏压电源，辉光放电产生等离子体，对基底表面进行活化清洗；

B、过渡层制备：清洗完毕后，利用电弧离子镀的方法首先沉积铬过渡层，选用铬柱靶作为电弧离子镀靶材，以氩气作为离化气体，基体附加负偏压，沉积铬过渡层后关闭；

C、沉积氧化铬涂层：电弧离子镀靶材选择依然是铬柱靶，再通入氧气，通过控制氮气和氧气的流量比以及电流和基底施加偏压的大小控制涂层的结构；

D、涂层后处理： 进行退火处理，然后自然冷却至室温。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤A中，金属基底选自M2高速钢、镍基合金钢、不锈钢或铝合金，等离子体活化工艺参数范围为：腔体气压0.4～2.0Pa，偏压-100V～-1000V。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤B中，铬过渡层工艺参数范围为：腔体气压0.2～1.0Pa，溅射电流1～200 A，脉冲偏压-50～-500V，过渡层厚度30～500 nm。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤C中，氧化铬层工艺参数范围为：腔体气压0.2～1.0Pa，O2/Ar流量比为1:5～5:1，溅射电流1～200 A，脉冲偏压-50～-500V，涂层厚度0.5～5um。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在步骤D中，退火工艺参数范围为：退火温度200～1000℃，升温速度1～20℃/min，保温时间为0.5～5h。