[发明专利]一种靶材及其制造方法

权利要求书

1.一种靶材，包括靶材本体及基体，其特征在于，所述基体的至少一面设有所述靶材本体，所述靶材本体是由高纯度合金粉末通过等离子转移弧焊机喷涂熔焊在所述基体上。

2.根据权利要求1所述的靶材，其特征在于，所述基体与所述靶材本体的结合面为呈内凹的圆弧面。

3.根据权利要求1或2所述的靶材，其特征在于，所述靶材本体为鉻合金或锰合金材质，所述基体为45#钢。

4.根据权利要求1或2所述的靶材，其特征在于，所述基体的两面均设有所述靶材本体。

5.根据权利要求1所述的靶材，其特征在于，所述基体为矩形或圆形。

6.用于生产如权利要求1～5任一项所述靶材的方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）、准备合金粉体：准备纯度在99.99%以上合金粉末，充分研磨后过筛，进行烘干处理，得到喷涂粉体；

（2）、准备基体：选择所需形状的合金钢做基体，对所述基体表面清洁处理，然后对基体进行预热，使其温度达到150°～220°C；

（3）、等离子转移弧喷涂成型：将经步骤（1）制得的喷涂粉体装入所述等离子转移弧焊机的送粉器，将经步骤（2）处理后的基体固定在等离子喷涂设备上，并使所述基体处在惰性气体中，使基体与热喷涂枪相对运动进行喷涂，形成喷涂层，一次喷涂形成的喷涂层厚度为1～3毫米；

（4）、清理所述喷涂层表面，按照步骤（3）的要求再次喷涂，形成新的喷涂层，然后再次清理所述新的喷涂层；

（5）、按照步骤（3）及（4）的流程进行循环作业，直至达到靶材本体的厚度要求为止；

（6）、对经过步骤（5）加工的靶材表面进行抛磨处理，获得靶材。

7.根据权利要求6所述的靶材生产方法，其特征在于，步骤（2）所述的对所述基体表面清洁处理是采用喷砂处理，以清除所述基体表面的氧化层，并形成较粗糙的结合层。

8.根据权利要求6所述的靶材生产方法，其特征在于，对于所述基体的两面均设有所述靶材本体的加工，还包括在步骤（5）之后将所述基体翻面后再按照步骤（3）及（4）的流程进行循环作业，直至达到靶材本体的厚度要求为止。