[发明专利]微镜结构以及投影装置

权利要求书

1.一种微镜结构，适用于数字微镜装置，其特征在于包括：

微镜片，适于沿摆荡枢轴摆荡，其中该摆荡枢轴沿第一轴线延伸并且与该微镜片的第一侧平行，该摆荡枢轴的长度大于该微镜片的该第一侧的长度；

一对主支柱，分别设置于该摆荡枢轴的相对两端，以支撑该摆荡枢轴以及该微镜片；以及

一对接触柱，沿第二轴线分别设置于该摆荡枢轴的相对两侧，该第二轴线垂直于该第一轴线。

2.如权利要求1所述的微镜结构，还包括至少一第一电极以及至少一第二电极，其中该第一电极以及该第二电极沿该第二轴线分别设置于该摆荡枢轴的相对两侧。

3.如权利要求1所述的微镜结构，其中该微镜片的各侧的长度实质上为6.5微米。

4.如权利要求1所述的微镜结构，其中该微镜片的各侧的长度小于7.5微米。

5.如权利要求1所述的微镜结构，其中该摆荡枢轴的长度实质上为12.5微米。

6.如权利要求1所述的微镜结构，其中该微镜片包括接触端，位于该微镜片的底面，当该微镜片沿着该摆荡枢轴摆荡且往对应的接触柱倾斜时，该接触端接触对应的接触柱的顶部。

7.如权利要求6所述的微镜结构，其中各该接触端的材料包括铝或氮化铝钛。

8.一种投影装置，其特征在于包括：

光源模块，用以提供照明光束；

数字微镜装置，设置于该照明光束的传送路径上，以反射该照明光束而形成影像光束，该数字微镜装置包括多个微镜结构，呈三角形阵列排列，各该微镜结构包括：

微镜片，适于沿摆荡枢轴摆荡，该摆荡枢轴沿第一轴线延伸并且与该微镜片的第一侧平行，该摆荡枢轴的长度大于该微镜片的该第一侧的长度，其中该三角形阵列的第i行中的各微镜结构的摆荡枢轴的一端位于该三角形阵列的第i+1行中对应的微镜结构的第一侧的下方；

一对主支柱，分别设置于该摆荡枢轴的相对两端，以支撑该摆荡枢轴以及该微镜片；以及

一对接触柱，沿第二轴线分别设置于该摆荡枢轴的相对两侧，该第二轴线垂直于该第一轴线；以及

投影镜头，设置于该影像光束的传送路径。

9.如权利要求8所述的投影装置，其中该三角形阵列的第i行的微镜结构与第i+1行的微镜结构交错排列。

10.如权利要求8所述的投影装置，其中各该微镜结构还包括至少一第一电极以及至少一第二电极，其中该第一电极以及该第二电极沿该第二轴线分别设置于该摆荡枢轴的相对两侧。

11.如权利要求8所述的投影装置，其中各该微镜片的各侧的长度实质上为6.5微米。

12.如权利要求8所述的投影装置，其中各该微镜片的各侧的长度实质上小于7.5微米。

13.如权利要求8所述的投影装置，其中该摆荡枢轴的长度实质上为12.5微米。

14.如权利要求8所述的投影装置，其中各该微镜片包括接触端，位于各该微镜片的底面，当各该微镜片沿着对应的摆荡枢轴摆荡且往对应的接触柱倾斜时，对应的接触端接触对应的接触柱的顶部。

15.如权利要求14所述的投影装置，其中各该接触端的材料包括铝或氮化铝钛。