[发明专利]扫描电镜试样的高精度制备方法

权利要求书

1.一种扫描电镜试样的高精度制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1）制备多个金属圆锥件（1），把多个金属圆锥件（1）均匀设置在试样（2）截面的周边，金属圆锥件（1）直径大的一端朝向需要磨削的截面；

S2）磨削试样（2），每当试样磨削到一定程度后，测量试样断层截面上各个金属圆锥件（1）椭圆形截面的长轴与短轴长度，从而根据实际情况作出判断调整，通过不断磨削使最终各个金属圆锥件椭圆形截面的长轴与短轴之比达到1:1；

S3）当试样上金属圆锥件（1）椭圆形截面的长轴与短轴之比达到1:1时，通过测得的金属圆锥件（1）的截面半径与原始金属圆锥件（1）的半径，运用立体几何方法计算出其磨削的距离；

S4）重复步骤S2与S3中的磨削与测量计算，最终获得平整断层截面与特定距离层面的扫描电镜试样。

2.根据权利要求1所述的扫描电镜试样的高精度制备方法，其特征在于：所述试样（2）的形状为直径15～20mm、高15～20mm的圆柱体或边长15～20mm的立方体。

3.根据权利要求1或2所述的扫描电镜试样的高精度制备方法，其特征在于：所述金属圆锥件（1）为四个，所述四个金属圆锥件（1）分别对称地镶嵌在试样（2）的4个角上。

4.基于上述权利要求所述的制备方法制得的扫描电镜试样。