[发明专利]单晶炉炉压检测报警补偿系统

说明书

技术领域

本发明涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种单晶炉炉压检测报警补偿系统。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。其炉压需要保持在一定范围值内，高于或低于这个范围就会影响单晶炉的正常工作，从而恒定单晶炉的炉压是十分重要的。

发明内容

针对上述技术问题，本发明提供一种单晶炉炉压检测报警补偿系统，其能够自动对炉压进行检测，能够自行补偿，从而保证炉压能够满足单晶炉工作的需求。

实现本发明的技术方案如下：

单晶炉炉压检测报警补偿系统，包括设置在炉体内对炉体内炉压进行检测的检测器，以及能够接收检测器检测结果的控制器，所述控制器连接一报警器，在炉压出现异常时，控制器便会操作报警器发出报警信号，还包括对炉体内炉压进行自动补偿的补偿装置。

所述补偿装置包括连通炉体内的补偿管道，以及与补偿管道连接的炉压补偿器，在管道上设置有电磁控制阀，所述电磁控制阀与控制器连接。在检测器检测到炉压高于或低于设置的范围内时，控制器就会接收信号，从而控制器就会打开控制阀并控制补偿器进行补压，在炉压达到设定的范围内时，控制器便会关闭控制阀并停止补偿器的工作。

所述在炉体外设置有显示炉压的显示计。

采用了上述方案，检测器实时对炉压进行检测并将检测的结果即时发送给控制器，一旦检测到炉压高于或低于设定的范围内时，控制器便会向报警器发出信号使报警器报警，同时控制器操作控制阀打开以及启动补偿器进行补压，在炉压达到设定的范围内时，控制器便会关闭控制阀并停止补偿器的工作。本发明能够实时对炉压进行检测，并能够对炉压进行补偿，从而保证炉压能够满足单晶炉工作的需求。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图中，1为炉体，2为检测器，3为控制器，4为报警器，5为补偿管道，6为炉压补偿器，7为电磁控制阀。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进一步说明。

参见图1所示，单晶炉炉压检测报警补偿系统，包括设置在炉体1内对炉体内炉压进行检测的检测器2，检测器2能够抵住炉内的高温并不会影响其检测结果，以及位于炉体外部、接收检测器检测结果的控制器3，控制器3连接一报警器4，在炉压出现异常时，控制器就会操作报警器报警，以及对炉体内炉压进行自动补偿的补偿装置，其包括连通炉体内的补偿管道5，在补偿管道5与炉体接触处设置有密封件，保证炉体的密封性能，以及与补偿管道连接的炉压补偿器6，在管道上设置有电磁控制阀7，电磁控制阀7与控制器3连接，在炉压出现异常时，控制器能够控制电磁控制阀、炉压补偿器进行工作。在炉体外设置有显示炉压的显示计，操作人员可以实时了解炉压的情况。