[发明专利]一种高温下连续生长石墨烯的装置

权利要求书

1.一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：所述装置包括有内设真空室的密封机柜、卷有基底的放料辊轮、用于卷收基底的收料辊轮和内设竖直基底通道的加热器，所述放料辊轮、收料辊轮和加热器均安装在真空室内，在加热器的基底通道内设置有用于穿过基底的竖直反应腔，在机柜上安装有连通至竖直反应腔的进气机构，在加热器与收料辊轮之间还设置有用于冷却基底的冷却机构，所述装置还包括有用于给真空室抽真空的真空泵组。

2.如权利要求1所述的一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：所述进气机构包括有三路进气管、一个混气室和一个出气管，三路进气管连通至混气室，混气室通过出气管连通至竖直反应腔内，三路进气管通过质子流量控制器精确控制。

3.如权利要求1所述的一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：所述装置还包括有用于基底导向的一组以上的驱动导向辊轮组，每驱动导向辊轮组分别与一个放料辊轮和一个收料辊轮相对应，每组驱动导向辊轮组均包括有一个放料驱动导向辊轮I和一个收料驱动导向辊轮II，放料驱动导向辊轮I设置在放料辊轮与加热器之间，收料驱动导向辊轮II设置在冷却机构与收料辊轮之间。

4.如权利要求3所述的一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：所述放料驱动导向辊轮I包括有一组对压辊轮和一个转向辊轮。

5.如权利要求1所述的一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：所述冷却系统为水冷系统、风冷系统或液氮冷系统。

6.如权利要求1所述的一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：所述装置还包括有安装在机柜上的真空计。

7.如权利要求1所述的一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：在所述机柜上设置有压力释放口。

8.如权利要求1所述的一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：所述竖直反应腔由高温稳定管材制成，竖直反应腔的长度为10mm至5000mm。

9.如权利要求8所述的一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：所述高温稳定管材为石英管或刚玉管。

10.如权利要求1所述的一种高温下连续生长石墨烯的装置，其特征在于：在所述加热器上设置有一段以上的温度控制器，每段温度控制器均对应一个安装在加热器上的测温热偶。