[发明专利]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，其对基板进行成膜处理，其特征在于，具备：

真空腔室主体，其具有输送构件并形成有开放内部的开口部，所述输送构件在使所述基板竖立成所述基板的板厚方向成为水平方向的状态下，能够向与所述板厚方向交叉的输送方向输送所述基板；

腔室门，其能够开闭所述真空腔室主体的所述开口部；及

引导构件，其设置于所述真空腔室主体的上方并以能够向所述板厚方向水平移动的方式引导所述腔室门。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述引导构件具有：

一对导轨，在所述板厚方向延伸并在所述输送方向上隔开配置；及

吊梁，其架设于所述一对导轨之间并与所述腔室门连结，沿所述导轨可往复移动。

3.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

所述输送构件通过可装卸地保持所述基板的输送托盘来保持所述基板并向所述输送方向输送，

所述成膜装置具备向所述输送方向的上游侧返送所述输送托盘的返送构件，

所述返送构件与所述真空腔室主体的开口部对置，并在所述板厚方向上隔开配置，

所述一对导轨的一端侧安装于所述真空腔室主体的上端，另一端侧安装于所述返送构件的上端。

4.根据权利要求3所述的成膜装置，其特征在于，

所述返送构件以竖立状态返送所述输送托盘。

5.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

在所述吊梁的两端部设置有能够沿所述一对导轨行驶的导向辊，

所述引导构件具有防止所述导向辊脱轨的脱轨防止机构。

6.根据权利要求2所述的成膜装置，其特征在于，

在所述吊梁的两端部设置有能够沿所述一对导轨行驶的导向辊，

所述引导构件具有防止所述导向辊蛇行的蛇行防止机构。

7.根据权利要求5或6所述的成膜装置，其特征在于，

在所述一对导轨的一个导轨上行驶的所述导向辊的周面形成有沿周向连续的凹部或凸部，

所述导向辊所行驶的所述导轨上形成有与所述导向辊的所述凹部对应的凸部，或与所述导向辊的所述凸部对应的凹部。

8.根据权利要求5或6所述的成膜装置，其特征在于，

所述吊梁的所述两端部上，在所述导轨所延伸的方向上配置有多个所述导向辊。