[发明专利]单晶炉冷却系统

说明书

技术领域

本发明涉及单晶炉技术领域，具体涉及一种能够对单晶炉进行冷却并具有报警功能的单晶炉冷却系统。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在单晶炉工作时，炉内的温度非常高，需要对其进行冷却，其炉内的高温会对炉体造成损坏，因而需要对炉体进行冷却，现有的冷却结构多数为夹层冷却，其冷却效果不好，同时炉体的温度不能够即时知晓，不能对对炉体进行冷却，影响单晶炉的使用寿命。

发明内容

针对上述技术问题，本发明提供一种单晶炉冷却系统，其冷却效果好、同时能够对炉体的温度进行实时检测，通过检测的温度对炉体进行冷却，延长了单晶炉的使用寿命。

实现本发明的技术方案如下：

单晶炉冷却系统，包括炉体，所述炉体设置有冷却夹层，在冷却夹层内设置有具有进液端、出液端的冷却管道，冷却管道的进液端连接输送泵、出液端连接一回收池，所述冷却管道螺旋环绕在炉体周围。输送泵向螺旋冷却管道内对炉体进行冷却。

所述冷却管道与冷却夹层内的空隙之间有填充材料。填充材料能够较好的传递冷却液的温度，更好的对炉体进行冷却。

所述炉体外壁设置有对炉体温度进行检测的检测器，检测器连接一控制器，所述控制器与上述输送泵相连接。检测器能够对炉体的外壁温度进行实时检测并将检测结果传递给控制器，而控制器根据检测器检测的结果来控制输送泵向冷却管道内，对炉体进行冷却。

所述控制器还连接一温度报警器。在检测器检测的炉体温度高于设定的值时，控制器就会向报警器发送信号并报警。

采用了上述方案，检测器对炉体外壁进行实时检测，将检测结果传递给控制器，控制器根据检测器检测的结果控制输送泵进行工作，从而保证炉体的温度始终保持在一定的范围内，从而保证炉体工作温度，延长炉体使用寿命。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

图中，1为炉体，2为冷却夹层，3为冷却管道，4为回收池，5为输送泵，6为检测器，7为控制器，8为温度报警器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明进一步说明。

参见图1所示，单晶炉冷却系统，包括炉体1，炉体1设置有冷却夹层2，在冷却夹层内设置有具有进液端、出液端的冷却管道3，冷却管道3的进液端穿过夹层连接输送泵5的输出端、出液端连接一回收池4，冷却管道3螺旋环绕在炉体周围。冷却管道与冷却夹层内的空隙之间有填充材料。炉体外壁设置有对炉体温度进行检测的检测器6，检测器6连接一控制器7，控制器7与上述输送泵相连接。检测器对炉体外壁进行实时检测，将检测结果传递给控制器，控制器根据检测器检测的结果控制输送泵进行工作，从而保证炉体的温度始终保持在一定的范围内，从而保证炉体工作温度，延长炉体使用寿命。控制器还连接一温度报警器8，当检测器检测的炉体温度高于设定的值时，控制器就会向报警器发送信号并报警。