[发明专利]X射线图像生成装置及X射线图像生成方法

权利要求书

1.一种X射线图像生成装置，其特征在于，具有：

X射线发生部，其对样品照射大致平行的X射线；

二维检测器，其相对于所述样品配置于所述X射线发生部的相反侧，并具有检测所述样品的透射图像的检测区域；

支承台，其用于配置所述样品；

工作台，其用于搭载所述支承台，可使所述支承台沿所述二维检测器的所述检测区域的平面做面内移动；和

控制部，其根据所述二维检测器检测的所述样品的多个透射图像，生成合成透射图像数据，

所述控制部拼合所述样品的不同的多个位置的透射图像，生成合成透射图像数据。

2.根据权利要求1所述的X射线图像生成装置，其特征在于，

所述支承台具有旋转驱动系统，所述旋转驱动系统以沿着所述检测区域的平面的方向为旋转轴，使所述样品旋转移动至各规定数量的角度配置，

所述控制部，

在所述各规定数量的角度配置下，拼合所述样品的不同的多个位置的透射图像，生成合成透射图像数据，

通过对所生成的所述规定数量的合成透射图像数据进行图像重构，生成三维X射线CT图像。

3.根据权利要求2所述的X射线图像生成装置，其特征在于，

所述工作台使所述支承台依次移动，使所述样品位于所述不同的多个位置中的任一位置，

在该位置的配置下，所述旋转驱动系统使所述样品依次旋转移动，使所述样品位于所述规定数量的角度配置中的任一角度配置，

在该配置下，所述二维检测器检测所述样品的透射图像，

对在各所述规定数量的角度配置下所述样品的不同的多个位置的多个透射图像进行检测。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的X射线图像生成装置，其特征在于，还具有：

光学摄像部，其检测所述样品的光学图像；和

光学反射镜，其配置于所述X射线发生部和所述支承台之间，使来自所述X射线发生部的X射线向所述样品透射，并且，反射沿所述检测区域的平面的法线方向从所述样品入射的光，而射入所述光学摄像部。

5.根据权利要求4所述的X射线图像生成装置，其特征在于，

所述光学反射镜具有使从所述X射线发生部到二维检测器的检测区域的X射线通过的开口部。

6.根据权利要求4所述的X射线图像生成装置，其特征在于，

所述光学反射镜为金属薄膜反射镜。

7.根据权利要求1～3中任一项所述的X射线图像生成装置，其特征在于，

在设从所述X射线发生部到所述样品的距离为L，设从所述样品到所述二维检测器的距离为d时，d/L为0.1以下。

8.根据权利要求1～3中任一项所述的X射线图像生成装置，其特征在于，

对于射入到所述样品，贯穿所述样品，并到达所述二维检测器的所述检测区域的X射线，在设从样品的入射部位到出射部位的距离为t，设所述检测区域的法线方向与X射线的行进方向所成的角为θ时，t与所述二维检测器的空间分辨率相比充分大，t·θ为所述二维检测器的空间分辨率以下。

9.一种X射线图像生成方法，其使用，

X射线发生部，其对样品照射大致平行的X射线；

二维检测器，其相对于所述样品配置于所述X射线发生部的相反侧，并具有检测所述样品的透射图像的检测区域；

支承台，其用于配置所述样品；

工作台，其用于搭载所述支承台，可使所述支承台沿所述二维检测器的所述检测区域的平面做面内移动；和

控制部，其根据所述二维检测器检测的所述样品的多个透射图像，生成合成透射图像，

所述X射线图像生成方法的特征在于：

所述控制部拼合所述样品的不同的多个位置的透射图像，生成合成透射图像数据。