[发明专利]基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置无效
申请号: | 201310268465.0 | 申请日: | 2013-06-28 |
公开(公告)号: | CN103293107A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 龚萍;谢亮;王瑞;袁海庆 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | G01N21/17 | 分类号: | G01N21/17 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 石英 音叉 增强 气体 声光 空气 湿度 动态 检测 装置 | ||
1.一种基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该空气湿度动态检测装置包括DFB激光器(1)、调制电流源(2)、温度控制器(3)、控制箱(4)、功率分配器(5)、任意波形发生器(6)、锁相放大器(7)、基座(8)、套管(9)、尾纤连接器(10)、自聚焦透镜(11)、石英音叉(12)和电脑(13),其中:调制电流源(2)和温度控制器(3)分别控制DFB激光器(1)的注入电流和工作温度,使DFB激光器(1)的输出波长锁定在1370nm附近一个较强的水汽吸收峰上;任意波形发生器(6)提供调制信号,周期性的调制DFB激光器(1)的输出光频率;DFB激光器(1)输出光通过自聚焦透镜(11)后,聚焦光束的焦点位于石英音叉(12)两臂之间的间隙中,通过石英音叉(12)检测光与吸收气体相互作用下产生的光声光谱信号,经锁相放大器(7)放大后输出给电脑(13),由电脑(13)实时计算并显示测量到的空气湿度。
2.根据权利要求1所述的基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该DFB激光器(1)在调制电流源(2)和温度控制器(3)的控制下,通过改变工作温度和注入电流,使其输出光波长锁定在1370nm附近一个较强的水汽吸收峰上,其输出光通过尾纤连接器(10)被自聚焦透镜(11)聚焦至石英音叉(12)两臂之间的间隙。
3.根据权利要求1所述的基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该调制电流源(2)的输出端连接于DFB激光器(1)的输入端,用于控制该DFB激光器(1)的注入电流;该温度控制器(3)的输出端连接于DFB激光器(1)的输入端,用于控制该DFB激光器(1)的工作温度。
4.根据权利要求3所述的基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该控制箱(4)的两个输出端分别控制调制电流源(2)和温度控制器(3),其输入端连接于功率分配器(5)的一个输出端,用于控制调制电流源(2)和温度控制器(3),为DFB激光器(1)提供调制信号。
5.根据权利要求1所述的基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该功率分配器(5)包括两个输出端和一个输入端,其输入端连接于任意波形发生器(6),将任意波形发生器(6)的输出信号分成频率相等的两路输出信号,分别输出给控制箱(4)的输入端和锁相放大器(7)的参考信号输入端。
6.根据权利要求1所述的基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该任意波形发生器(6),其输出端连接于功率分配器(5)的输入端,用于向功率分配器(5)输出信号频率为f的波,且f为石英音叉共振频率f0的二分之一,即
7.根据权利要求1所述的基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该锁相放大器(7)包括参考信号输入端、被测信号输入端和输出端,其参考信号输入端与功率分配器(5)的一个输出端连接,其被测信号输入端与石英音叉(12)的输出端连接,其输出端与电脑(13)连接,用于对功率分配器(5)输入的参考信号及石英音叉(12)输入的被测信号进行二次谐波测量,得到幅值并输出给电脑(13)。
8.根据权利要求1所述的基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该电脑(13)与锁相放大器(7)的输出端连接,通过安装的LabVIEW程序计算并显示空气湿度。
9.根据权利要求1所述的基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该基座(8)用来固定套管(9)、尾纤连接器(10)、自聚焦透镜(11)和石英音叉(12),该套管(9)对尾纤连接器(10)和自聚焦透镜(11)起保护和固定作用。
10.根据权利要求9所述的基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,
该尾纤连接器(10),其端面与自聚焦透镜一端面连接,用紫外固化胶固定,尾纤与DFB激光器(1)的输出连接;
该自聚焦透镜(11),将DFB激光器(1)发出的光聚焦,焦点位于石英音叉(12)两臂之间的间隙;
该石英音叉(12),其共振频率为f0=32.768kHz,包括两臂和输出端,其输出端与锁相放大器(7)的被测信号输入端连接。
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